phd-test-bench-nano-hexapod/matlab/mat/APA300ML_b_mat_M.CSV

21 KiB

11.8804136911789143e-02-2.5273291957022577e-077.0745506541796516e-04-1.4855285726372427e-08-2.0371699072830736e-04-2.1745392833826402e-07-3.8411353377645912e-047.3138691689394234e-08-3.1932913354539853e-05-1.6291624566999286e-09-6.8417772679783104e-06-3.8388998111583414e-091.6277724686264985e-03-1.0034492266511058e-06-6.3126611914287982e-043.1928905163962491e-091.4313229820365255e-052.7835778708660203e-091.3197024986538694e-038.6679879291014174e-079.4745079134483001e-041.0757689148744709e-091.3590091113189615e-051.4963933796399008e-09-7.8368585089446264e-03-2.6691741010441878e-02-1.0427386470714088e-021.5327500527647591e-022.7731070326294815e-052.5221371319129078e-05
2-2.5273291957022577e-071.9211445473492312e-02-4.4602092218660975e-072.0847420748021692e-041.6673922315234365e-092.3321087279772923e-052.9787550707813828e-08-1.0263467862489810e-04-3.1689495485744817e-081.6211520072552721e-06-4.4216105429561921e-11-3.7803793314072381e-082.6589619862763388e-071.0931170994695402e-03-2.1020044507387730e-07-8.1282615595639272e-069.9008938313856144e-104.0446244313812347e-062.4164353834472431e-071.0225076942876371e-03-1.3928803451409319e-07-7.5585411061789378e-066.0482751295174991e-10-3.7207431730918421e-06-9.7450161098053282e-07-6.9674125063883316e-071.9363345520680989e-06-2.4098996553326181e-06-2.2938029563877305e-03-2.8539223445684485e-03
37.0745506541796516e-04-4.4602092218660975e-071.8500933238457008e-02-1.0703604831706744e-08-3.2117269161997518e-054.0227037214727572e-083.1357232264381168e-053.6156180343396144e-081.3792882641993729e-05-6.5901225271129960e-104.7102412913508216e-073.7517397524386865e-107.8210812044199015e-047.4823251352092058e-078.1399178114214079e-04-4.8131475877416951e-092.1871737790360525e-061.5886594278765330e-09-1.4880933008743265e-03-3.8327613020965237e-079.2757564000560725e-043.8221124148822056e-09-6.8745359794530019e-067.6535988220594326e-103.5080195060233350e-031.4877924065196259e-02-2.1382430604509124e-023.1074279374707817e-022.3175445277283731e-062.6094945571870645e-06
4-1.4855285726372427e-082.0847420748021692e-04-1.0703604831706744e-083.6301015377558860e-062.0587064984584790e-101.3391110324094624e-07-1.5836210111893560e-10-1.6213862542735465e-06-3.6324314208537155e-102.4992290780492576e-08-9.8600361582237281e-12-8.1380500810644834e-109.7322106506002676e-091.7625379220815372e-05-1.9934307760184012e-09-9.5310940836458449e-084.5362711505625478e-114.0782896626726310e-087.9371572391907361e-091.7327440296864877e-05-3.8682870726350083e-09-9.2653911707813300e-083.3849465985781987e-11-3.6579826156812293e-08-9.0534918685676973e-091.1311882648234729e-085.8933340674253114e-08-7.7634106731750022e-08-1.4292354704284731e-04-1.5658481720818199e-04
5-2.0371699072830736e-041.6673922315234365e-09-3.2117269161997518e-052.0587064984584790e-103.4552285411925002e-065.3971411841053827e-096.8240588190787650e-06-9.2424068051922275e-104.7928666595930285e-072.1973209408390766e-111.1809643885855493e-077.1489665528404756e-11-2.5531130291525775e-054.8381081077140949e-082.1103568300205978e-05-2.9337756459214897e-10-2.6797591419335909e-071.3399594779051818e-11-2.2084740069625680e-05-4.4684545426033561e-08-2.5658110211821661e-051.9810324568146908e-10-2.6325304770016137e-07-1.5242383565828687e-122.4047179038042549e-049.2642899181507004e-042.7385512250621057e-04-3.9964156024956154e-04-4.2607777441442843e-07-3.8565168949155090e-07
6-2.1745392833826402e-072.3321087279772923e-054.0227037214727572e-081.3391110324094624e-075.3971411841053827e-097.5277766095326578e-078.8646669428802092e-09-3.7951879285763008e-081.0226785267385210e-098.1806577080346806e-101.5061018067429513e-10-8.2232843690813518e-09-1.1828236113200442e-08-1.0731266550494226e-056.2697077978645651e-086.8425490988593457e-08-3.3857021525737821e-10-3.4427734484491376e-09-1.7414734634783023e-081.1501926431063936e-05-6.0952841206442293e-08-8.5542667622825983e-08-3.7279134675101884e-10-1.1470471360021672e-086.3632327770373212e-072.6169654427495415e-065.3133258845425704e-07-7.7033416935686729e-078.4549719379622244e-051.0103092517707942e-04
7-3.8411353377645912e-042.9787550707813828e-083.1357232264381168e-05-1.5836210111893560e-106.8240588190787650e-068.8646669428802092e-091.8750210698473775e-025.2605860163120302e-07-7.1955727612052294e-04-2.4354396183705811e-082.0254063814235466e-044.2982732373152850e-081.6385296329863568e-033.2470614565074756e-076.1796986986486135e-04-3.6018272682120402e-09-1.4321363778190983e-053.8509086803468143e-101.3291357160285673e-03-5.2022965302142613e-07-9.3669641283778164e-04-1.3007012857543090e-09-1.3593986891789058e-052.3643525912572473e-102.6986035757751169e-02-4.7536931782869839e-03-1.5041053783048548e-02-1.0539899603418380e-028.7284017470273844e-06-1.8938021385798380e-06
87.3138691689394234e-08-1.0263467862489810e-043.6156180343396144e-08-1.6213862542735465e-06-9.2424068051922275e-10-3.7951879285763008e-085.2605860163120302e-071.9210810094490226e-02-1.4554894065830701e-06-2.0846577155292590e-04-3.5088438576853496e-092.3313868178992241e-05-6.1510298163391910e-081.0932497241376410e-03-4.8974848636588357e-078.1272984682079856e-063.6938113497197211e-094.0485273109107100e-06-1.0555512931119558e-071.0226094026295645e-03-4.3472087576348724e-087.5584544232743024e-061.3004655364674207e-10-3.7216879554797839e-06-1.0475098811573714e-053.2099899258691447e-06-5.0828790146892040e-06-2.6274257635043645e-062.3010553947759816e-03-2.8224572995272485e-03
9-3.1932913354539853e-05-3.1689495485744817e-081.3792882641993729e-05-3.6324314208537155e-104.7928666595930285e-071.0226785267385210e-09-7.1955727612052294e-04-1.4554894065830701e-061.8500680585171864e-022.9651330646565552e-08-3.2308451005118596e-056.6964762731386892e-08-7.7653201252517873e-041.6177026519025475e-068.1289018390646648e-041.0914340968801451e-082.1513894996636448e-064.3218760601227906e-091.4948168001170080e-03-4.3207128711837506e-079.2863281394679417e-04-2.8084006507255753e-09-6.9168244237829259e-06-8.3166707579859840e-101.4815074388361563e-02-3.4431229792968401e-033.1029076941670258e-022.1500078111474159e-02-4.5308885812505270e-063.5503611386558879e-06
10-1.6291624566999286e-091.6211520072552721e-06-6.5901225271129960e-102.4992290780492576e-082.1973209408390766e-118.1806577080346806e-10-2.4354396183705811e-08-2.0846577155292590e-042.9651330646565552e-083.6300308429067821e-06-1.3224245708382725e-10-1.3355273985170506e-071.1919564185419764e-08-1.7622675801844818e-057.5974471425170971e-09-9.5250404047935082e-08-1.3459526205199561e-10-4.0810144457506839e-087.2040182809950229e-09-1.7331658644641598e-059.5045176244506208e-10-9.2678256399238610e-08-4.1090109679646173e-113.6586482606985394e-081.5267738339093641e-07-4.7256199419127589e-087.4848277785221044e-083.6822640676370892e-08-1.4334890147197054e-041.5469671657942377e-04
11-6.8417772679783104e-06-4.4216105429561921e-114.7102412913508216e-07-9.8600361582237281e-121.1809643885855493e-071.5061018067429513e-102.0254063814235466e-04-3.5088438576853496e-09-3.2308451005118596e-05-1.3224245708382725e-103.4318807467887414e-061.7080365762476007e-092.5866368058626846e-052.6278001562175075e-082.0876081856622234e-059.3505853228806687e-11-2.6922318766943660e-074.2350282748122511e-112.2426870486275633e-05-1.8450243821782357e-08-2.5464492326032117e-05-9.5306237982905632e-11-2.6459283381123206e-07-4.0763279599020582e-129.3120519511358810e-04-1.9473401058760291e-04-3.9461713482364172e-04-2.7455870283132184e-046.2156503452954828e-083.7770520946776815e-08
12-3.8388998111583414e-09-3.7803793314072381e-083.7517397524386865e-10-8.1380500810644834e-107.1489665528404756e-11-8.2232843690813518e-094.2982732373152850e-082.3313868178992241e-056.6964762731386892e-08-1.3355273985170506e-071.7080365762476007e-097.5143276157053636e-073.3366161207082545e-09-1.0705471261800232e-053.5502313872098743e-08-6.8069505869524165e-08-1.7868833429445421e-10-3.3375385510527639e-091.6368400729117385e-081.1476899025139944e-05-2.0565875284709919e-088.5181080433892891e-08-2.1672347729229982e-10-1.1358514173639934e-081.2913453140722295e-06-2.8092123481064990e-07-1.5357525597872957e-07-1.1178408030701035e-07-8.5923268713794567e-051.0094987357770084e-04
131.6277724686264985e-032.6589619862763388e-077.8210812044199015e-049.7322106506002676e-09-2.5531130291525775e-05-1.1828236113200442e-081.6385296329863568e-03-6.1510298163391910e-08-7.7653201252517873e-041.1919564185419764e-082.5866368058626846e-053.3366161207082545e-091.2886672807685670e-02-1.9360111494663364e-064.7205080478775262e-062.8932108854426280e-09-4.6868173361840907e-08-3.3306060871738000e-08-2.7178876970907737e-041.0230794125523200e-06-3.9320359554182241e-06-1.7081958484948157e-08-5.2378334678209369e-08-2.4397983655689769e-09-8.5654308645429517e-031.4178346691946590e-02-2.3661256130655259e-024.2673299622673425e-03-2.4684051675566254e-05-1.1205678472390380e-05
14-1.0034492266511058e-061.0931170994695402e-037.4823251352092058e-071.7625379220815372e-054.8381081077140949e-08-1.0731266550494226e-053.2470614565074756e-071.0932497241376410e-031.6177026519025475e-06-1.7622675801844818e-052.6278001562175075e-08-1.0705471261800232e-05-1.9360111494663364e-061.4291591380573638e-021.9384376587522461e-061.3684028511289494e-08-1.2696482312759008e-08-2.1614028574371046e-05-8.7906144095018850e-07-2.6564514179128217e-04-9.0782965348417961e-07-1.0782768144772890e-08-2.2003585987316592e-085.3640807704353118e-073.9397010399357789e-053.7978965591001709e-057.8256140429005282e-06-1.2679150965871501e-05-5.3242764183186087e-051.0765247556630357e-02
15-6.3126611914287982e-04-2.1020044507387730e-078.1399178114214079e-04-1.9934307760184012e-092.1103568300205978e-056.2697077978645651e-086.1796986986486135e-04-4.8974848636588357e-078.1289018390646648e-047.5974471425170971e-092.0876081856622234e-053.5502313872098743e-084.7205080478775262e-061.9384376587522461e-061.5042497397507021e-02-1.7418871911740445e-092.8907351863976703e-051.3153327396045632e-086.0382774207451070e-06-9.7674329594195266e-072.5534244212013703e-043.4360706999119015e-09-6.9501793669048047e-06-7.4615851574839863e-104.2255211743104835e-022.6290635097006458e-024.5893706783715028e-032.4720490694272620e-02-1.0881112921593950e-055.4436626454446008e-06
163.1928905163962491e-09-8.1282615595639272e-06-4.8131475877416951e-09-9.5310940836458449e-08-2.9337756459214897e-106.8425490988593457e-08-3.6018272682120402e-098.1272984682079856e-061.0914340968801451e-08-9.5250404047935082e-089.3505853228806687e-11-6.8069505869524165e-082.8932108854426280e-091.3684028511289494e-08-1.7418871911740445e-098.5464973452363580e-076.7442425336644724e-111.0996589430279572e-102.5143805657963200e-08-1.0238743211809228e-082.8731870662045240e-09-2.8168801215230207e-088.0298695366742105e-111.7870083871845097e-115.5746502142499671e-08-3.8437567332673447e-07-9.0889126615002546e-086.9900650851137456e-08-4.0602030015827588e-04-1.5641291518437534e-06
171.4313229820365255e-059.9008938313856144e-102.1871737790360525e-064.5362711505625478e-11-2.6797591419335909e-07-3.3857021525737821e-10-1.4321363778190983e-053.6938113497197211e-092.1513894996636448e-06-1.3459526205199561e-10-2.6922318766943660e-07-1.7868833429445421e-10-4.6868173361840907e-08-1.2696482312759008e-082.8907351863976703e-056.7442425336644724e-112.7984510510818298e-076.9524463388120750e-11-6.1419246862805542e-081.6470096053092844e-083.9217366938157216e-06-8.1588699300135691e-113.1957860413565765e-08-2.7174943491167994e-11-4.4239485804719126e-05-2.6019431990559389e-051.5811473476354649e-058.5042080391325748e-05-1.9643990516257122e-08-1.5854567996781013e-07
182.7835778708660203e-094.0446244313812347e-061.5886594278765330e-094.0782896626726310e-081.3399594779051818e-11-3.4427734484491376e-093.8509086803468143e-104.0485273109107100e-064.3218760601227906e-09-4.0810144457506839e-084.2350282748122511e-11-3.3375385510527639e-09-3.3306060871738000e-08-2.1614028574371046e-051.3153327396045632e-081.0996589430279572e-106.9524463388120750e-113.5369369183140893e-07-1.2122616095158942e-09-9.4287993762330324e-07-4.2336001202932914e-10-2.6568064594903397e-11-5.2959088148189155e-111.2070141377110959e-096.3985104041112299e-084.8715958722368958e-084.7388487095991299e-08-2.2553881719432628e-08-7.3800083697808571e-071.9346850933749053e-04
191.3197024986538694e-032.4164353834472431e-07-1.4880933008743265e-037.9371572391907361e-09-2.2084740069625680e-05-1.7414734634783023e-081.3291357160285673e-03-1.0555512931119558e-071.4948168001170080e-037.2040182809950229e-092.2426870486275633e-051.6368400729117385e-08-2.7178876970907737e-04-8.7906144095018850e-076.0382774207451070e-062.5143805657963200e-08-6.1419246862805542e-08-1.2122616095158942e-091.3652404114787952e-021.4074408761158427e-06-3.9065940847867082e-06-1.0247982769432766e-08-6.9746869753699972e-08-2.1484025092958240e-095.6028256921109602e-03-8.7266512276299724e-033.8957018025184406e-02-7.1677852748950211e-03-2.6680593678480893e-05-8.0336326972615841e-06
208.6679879291014174e-071.0225076942876371e-03-3.8327613020965237e-071.7327440296864877e-05-4.4684545426033561e-081.1501926431063936e-05-5.2022965302142613e-071.0226094026295645e-03-4.3207128711837506e-07-1.7331658644641598e-05-1.8450243821782357e-081.1476899025139944e-051.0230794125523200e-06-2.6564514179128217e-04-9.7674329594195266e-07-1.0238743211809228e-081.6470096053092844e-08-9.4287993762330324e-071.4074408761158427e-061.4171645409631829e-021.1753002412201929e-061.2880934720066798e-081.7021508653153982e-082.2322934039328044e-05-2.3449625632406611e-05-3.9563812987916788e-05-5.1592053467100967e-061.7946971791096955e-054.4398458778421283e-05-6.3001032188530846e-03
219.4745079134483001e-04-1.3928803451409319e-079.2757564000560725e-04-3.8682870726350083e-09-2.5658110211821661e-05-6.0952841206442293e-08-9.3669641283778164e-04-4.3472087576348724e-089.2863281394679417e-049.5045176244506208e-10-2.5464492326032117e-05-2.0565875284709919e-08-3.9320359554182241e-06-9.0782965348417961e-072.5534244212013703e-042.8731870662045240e-093.9217366938157216e-06-4.2336001202932914e-10-3.9065940847867082e-061.1753002412201929e-061.5063337849675567e-02-8.0635439362928443e-10-3.1437597982632070e-05-6.6450212532355487e-09-1.6601470294411710e-02-1.0272652773091639e-029.6000877586945223e-035.2598839264177438e-023.3572354783171943e-067.5019634297186665e-06
221.0757689148744709e-09-7.5585411061789378e-063.8221124148822056e-09-9.2653911707813300e-081.9810324568146908e-10-8.5542667622825983e-08-1.3007012857543090e-097.5584544232743024e-06-2.8084006507255753e-09-9.2678256399238610e-08-9.5306237982905632e-118.5181080433892891e-08-1.7081958484948157e-08-1.0782768144772890e-083.4360706999119015e-09-2.8168801215230207e-08-8.1588699300135691e-11-2.6568064594903397e-11-1.0247982769432766e-081.2880934720066798e-08-8.0635439362928443e-108.3904217093085926e-07-1.1727184988645526e-10-4.1787555045162080e-11-2.8147546014428653e-083.3506919589840966e-071.4303033724950140e-07-4.7871251860358552e-081.2919853796261694e-04-2.8016158683213398e-07
231.3590091113189615e-056.0482751295174991e-10-6.8745359794530019e-063.3849465985781987e-11-2.6325304770016137e-07-3.7279134675101884e-10-1.3593986891789058e-051.3004655364674207e-10-6.9168244237829259e-06-4.1090109679646173e-11-2.6459283381123206e-07-2.1672347729229982e-10-5.2378334678209369e-08-2.2003585987316592e-08-6.9501793669048047e-068.0298695366742105e-113.1957860413565765e-08-5.2959088148189155e-11-6.9746869753699972e-081.7021508653153982e-08-3.1437597982632070e-05-1.1727184988645526e-102.9884457388566476e-077.1151996660764950e-11-1.1703100914871405e-04-7.1242566024660810e-05-1.8670750304816238e-05-1.0280848888887342e-04-5.6490399135560115e-08-1.4816214664678975e-07
241.4963933796399008e-09-3.7207431730918421e-067.6535988220594326e-10-3.6579826156812293e-08-1.5242383565828687e-12-1.1470471360021672e-082.3643525912572473e-10-3.7216879554797839e-06-8.3166707579859840e-103.6586482606985394e-08-4.0763279599020582e-12-1.1358514173639934e-08-2.4397983655689769e-095.3640807704353118e-07-7.4615851574839863e-101.7870083871845097e-11-2.7174943491167994e-111.2070141377110959e-09-2.1484025092958240e-092.2322934039328044e-05-6.6450212532355487e-09-4.1787555045162080e-117.1151996660764950e-113.5090649004345431e-071.3257296427331251e-094.1037725763543876e-08-1.6361580646079214e-08-4.7104229030722546e-08-4.8188932956956045e-074.9404401651482639e-05
25-7.8368585089446264e-03-9.7450161098053282e-073.5080195060233350e-03-9.0534918685676973e-092.4047179038042549e-046.3632327770373212e-072.6986035757751169e-02-1.0475098811573714e-051.4815074388361563e-021.5267738339093641e-079.3120519511358810e-041.2913453140722295e-06-8.5654308645429517e-033.9397010399357789e-054.2255211743104835e-025.5746502142499671e-08-4.4239485804719126e-056.3985104041112299e-085.6028256921109602e-03-2.3449625632406611e-05-1.6601470294411710e-02-2.8147546014428653e-08-1.1703100914871405e-041.3257296427331251e-091.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+00
26-2.6691741010441878e-02-6.9674125063883316e-071.4877924065196259e-021.1311882648234729e-089.2642899181507004e-042.6169654427495415e-06-4.7536931782869839e-033.2099899258691447e-06-3.4431229792968401e-03-4.7256199419127589e-08-1.9473401058760291e-04-2.8092123481064990e-071.4178346691946590e-023.7978965591001709e-052.6290635097006458e-02-3.8437567332673447e-07-2.6019431990559389e-054.8715958722368958e-08-8.7266512276299724e-03-3.9563812987916788e-05-1.0272652773091639e-023.3506919589840966e-07-7.1242566024660810e-054.1037725763543876e-080.0000000000000000e+001.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+00
27-1.0427386470714088e-021.9363345520680989e-06-2.1382430604509124e-025.8933340674253114e-082.7385512250621057e-045.3133258845425704e-07-1.5041053783048548e-02-5.0828790146892040e-063.1029076941670258e-027.4848277785221044e-08-3.9461713482364172e-04-1.5357525597872957e-07-2.3661256130655259e-027.8256140429005282e-064.5893706783715028e-03-9.0889126615002546e-081.5811473476354649e-054.7388487095991299e-083.8957018025184406e-02-5.1592053467100967e-069.6000877586945223e-031.4303033724950140e-07-1.8670750304816238e-05-1.6361580646079214e-080.0000000000000000e+000.0000000000000000e+001.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+00
281.5327500527647591e-02-2.4098996553326181e-063.1074279374707817e-02-7.7634106731750022e-08-3.9964156024956154e-04-7.7033416935686729e-07-1.0539899603418380e-02-2.6274257635043645e-062.1500078111474159e-023.6822640676370892e-08-2.7455870283132184e-04-1.1178408030701035e-074.2673299622673425e-03-1.2679150965871501e-052.4720490694272620e-026.9900650851137456e-088.5042080391325748e-05-2.2553881719432628e-08-7.1677852748950211e-031.7946971791096955e-055.2598839264177438e-02-4.7871251860358552e-08-1.0280848888887342e-04-4.7104229030722546e-080.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+001.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+00
292.7731070326294815e-05-2.2938029563877305e-032.3175445277283731e-06-1.4292354704284731e-04-4.2607777441442843e-078.4549719379622244e-058.7284017470273844e-062.3010553947759816e-03-4.5308885812505270e-06-1.4334890147197054e-046.2156503452954828e-08-8.5923268713794567e-05-2.4684051675566254e-05-5.3242764183186087e-05-1.0881112921593950e-05-4.0602030015827588e-04-1.9643990516257122e-08-7.3800083697808571e-07-2.6680593678480893e-054.4398458778421283e-053.3572354783171943e-061.2919853796261694e-04-5.6490399135560115e-08-4.8188932956956045e-070.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+001.0000000000000000e+000.0000000000000000e+00
302.5221371319129078e-05-2.8539223445684485e-032.6094945571870645e-06-1.5658481720818199e-04-3.8565168949155090e-071.0103092517707942e-04-1.8938021385798380e-06-2.8224572995272485e-033.5503611386558879e-061.5469671657942377e-043.7770520946776815e-081.0094987357770084e-04-1.1205678472390380e-051.0765247556630357e-025.4436626454446008e-06-1.5641291518437534e-06-1.5854567996781013e-071.9346850933749053e-04-8.0336326972615841e-06-6.3001032188530846e-037.5019634297186665e-06-2.8016158683213398e-07-1.4816214664678975e-074.9404401651482639e-050.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+000.0000000000000000e+001.0000000000000000e+00