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--git a/figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs.png b/figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs.png new file mode 100644 index 0000000..ac34b99 Binary files /dev/null and b/figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs.png differ diff --git a/figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft.pdf b/figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft.pdf new file mode 100644 index 0000000..cfae963 Binary files /dev/null and b/figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft.pdf differ diff --git a/figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft.png b/figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft.png new file mode 100644 index 0000000..6aaf237 Binary files /dev/null and b/figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft.png differ diff --git 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that in this document, only the vertical direction is considered (which is the most stiff), but other directions were considered as well and yields similar conclusions. +Note that in this study, only the vertical direction is considered (which is the most stiff), but other directions were considered as well and yields to similar conclusions. The model is schematically shown in Figure ref:fig:uniaxial_overview_model_sections where the colors are representing the studied parts in different sections. In order to have a relevant model, the micro-station dynamics is first identified and its model is tuned to match the measurements (Section ref:sec:micro_station_model). @@ -99,33 +99,19 @@ Then, a model of the nano-hexapod is added on top of the micro-station. With added sample and sensors, this gives a uniaxial dynamical model of the NASS that will be used for further analysis (Section ref:sec:nano_station_model). The disturbances affecting the position stability are identified experimentally (Section ref:sec:uniaxial_disturbances) and included in the model for dynamical noise budgeting (Section ref:sec:uniaxial_noise_budgeting). -In all the following analysis, there nano-hexapod stiffnesses are considered to better understand the trade-offs and to find the most adequate nano-hexapod design. -Three sample masses are also considered to verify the robustness of the applied control strategies to a change of sample. +In all the following analysis, three nano-hexapod stiffnesses are considered to better understand the trade-offs and to find the most adequate nano-hexapod design. +Three sample masses are also considered to verify the robustness of the applied control strategies with respect to a change of sample. -Three active damping techniques are then applied on the nano-hexapod. -This helps to reduce the effect of disturbances as well as render the system easier to control afterwards (Section ref:sec:uniaxial_active_damping). +In order to improve the position stability of the sample, an High Authority Control - Low Authority Control (HAC-LAC) strategy is applied. +It consists of first actively damp the plant, and then applying a position control on the damped plant. +Three active damping techniques are studied (Section ref:sec:uniaxial_active_damping) which are used to both reduce the effect of disturbances as well as render the system easier to control afterwards. Once the system is well damped, a feedback position controller is applied, and the obtained performance are compared (Section ref:sec:uniaxial_position_control). Two key effects that may limit that positioning performances are then considered: the limited micro-station compliance (Section ref:sec:uniaxial_support_compliance) and the presence of dynamics between the nano-hexapod and the sample's point of interest (Section ref:sec:uniaxial_payload_dynamics). Conclusion remarks are given in Section ref:sec:uniaxial_conclusion. -#+name: tab:uniaxial_section_matlab_code -#+caption: Report sections and corresponding Matlab files -#+attr_latex: :environment tabularx :width 0.6\linewidth :align lX -#+attr_latex: :center t :booktabs t -| *Sections* | *Matlab File* | -|---------------------------------------------+-------------------------------------| -| Section ref:sec:micro_station_model | =uniaxial_1_micro_station_model.m= | -| Section ref:sec:nano_station_model | =uniaxial_2_nano_hexapod_model.m= | -| Section ref:sec:uniaxial_disturbances | =uniaxial_3_disturbances.m= | -| Section ref:sec:uniaxial_noise_budgeting | =uniaxial_4_dynamic_noise_budget.m= | -| Section ref:sec:uniaxial_active_damping | =uniaxial_5_active_damping.m= | -| Section ref:sec:uniaxial_position_control | =uniaxial_6_hac_lac.m= | -| Section ref:sec:uniaxial_support_compliance | =uniaxial_7_support_compliance= | -| Section ref:sec:uniaxial_payload_dynamics | =uniaxial_8_payload_dynamics= | - #+begin_src latex :file uniaxial_overview_model_sections.pdf \begin{tikzpicture} % ==================== @@ -283,7 +269,7 @@ Conclusion remarks are given in Section ref:sec:uniaxial_conclusion. <> ** Introduction :ignore: -In this section, a uni-axial model of the micro-station is tuned in order to match measurements made on the micro-station +In this section, a uni-axial model of the micro-station is tuned in order to match measurements made on the micro-station. The measurement setup is shown in Figure ref:fig:uniaxial_ustation_first_meas_dynamics where several geophones are fixed to the micro-station and an instrumented hammer is used to inject forces on different stages of the micro-station. From the measured frequency response functions (FRF), the model can be tuned to approximate the uniaxial dynamics of the micro-station. @@ -915,9 +901,7 @@ ms = 10; % [kg] The sensitivity to disturbances (i.e. $x_f$, $f_t$ and $f_s$) are shown in Figure ref:fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params. The /plant/ (i.e. the transfer function from actuator force $f$ to measured displacement $d$) is shown in Figure ref:fig:uniaxial_plant_first_params. -#+begin_important For further analysis, 9 configurations are considered: three nano-hexapod stiffnesses ($k_n = 0.01\,N/\mu m$, $k_n = 1\,N/\mu m$ and $k_n = 100\,N/\mu m$) combined with three sample's masses ($m_s = 1\,kg$, $m_s = 25\,kg$ and $m_s = 50\,kg$). -#+end_important #+begin_src matlab :exports none %% Use 1DoF Nano-Hexpod model @@ -940,46 +924,70 @@ G_ol.OutputName = {'d'}; #+end_src #+begin_src matlab :exports none :results none -%% Sensitivity to disturbances +%% Sensitivity to disturbances - Fs figure; -tiledlayout(1, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - -ax1 = nexttile(); -hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_ol('d', 'fs'), freqs, 'Hz')))); -hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude $d/f_{s}$ [m/N]'); xlabel('Frequency [Hz]'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); - -ax2 = nexttile(); -hold on; -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_ol('d', 'ft'), freqs, 'Hz')))); -hold off; -set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -ylabel('Amplitude $d/f_{t}$ [m/N]'); xlabel('Frequency [Hz]'); -xticks([1e0, 1e1, 1e2]); - -ax3 = nexttile(); -hold on; -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_ol('d', 'xf'), freqs, 'Hz')))); -hold off; -set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -ylabel('Amplitude $d/x_{f}$ [m/m]'); xlabel('Frequency [Hz]'); -xticks([1e0, 1e1, 1e2]); - -linkaxes([ax1,ax2,ax3],'x'); xlim([1, 500]); #+end_src -#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file none +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params_fs.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +%% Sensitivity to disturbances - Ft +figure; +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_ol('d', 'ft'), freqs, 'Hz')))); +set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); +ylabel('Amplitude $d/f_{t}$ [m/N]'); xlabel('Frequency [Hz]'); +xticks([1e0, 1e1, 1e2]); +xlim([1, 500]); +#+end_src + +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file none +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params_ft.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +%% Sensitivity to disturbances - xf +figure; +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_ol('d', 'xf'), freqs, 'Hz')))); +set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); +ylabel('Amplitude $d/f_{t}$ [m/N]'); xlabel('Frequency [Hz]'); +xticks([1e0, 1e1, 1e2]); +xlim([1, 500]); +#+end_src + +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file none +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params_xf.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params -#+caption: Sensitivity of the relative motion $d$ to disturbances: $f_s$ the direct forces applied on the sample, $f_t$ disturbances from the micro-station stages and $x_f$ the floor motion (from left to right) -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params.png]] +#+caption: Sensitivity of the relative motion $d$ to disturbances: $f_s$ the direct forces applied on the sample (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_fs}), $f_t$ disturbances from the micro-station stages (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_ft}) and $x_f$ the floor motion (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_fs}) +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_fs}Direct forces} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params_fs.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_ft}$\mu\text{-station}$ disturbances} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params_ft.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_xf}Floor motion} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params_xf.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure #+begin_src matlab :exports none :results none %% Bode Plot of the transfer function from actuator forces to measured displacement by the metrology @@ -1133,7 +1141,7 @@ save('./mat/uniaxial_plants.mat', 'G_vc_light', 'G_md_light', 'G_pz_light', ... <> ** Introduction :ignore: -In order to measure disturbances, two geophones are used, on located on the floor and on on the micro-hexapod's top platform (see Figure ref:fig:uniaxial_ustation_meas_disturbances). +In order to measure disturbances, two geophones are used, one located on the floor and another one on the micro-hexapod's top platform (see Figure ref:fig:uniaxial_ustation_meas_disturbances). The geophone on the floor is used to measured the floor motion $x_f$ while the geophone on the micro-hexapod is used to measure vibrations introduced by scanning of the $T_y$ stage and $R_z$ stage. @@ -1320,8 +1328,6 @@ load('uniaxial_micro_station_parameters.mat'); #+end_src ** Ground Motion -The geophone fixed to the floor to measure the floor motion. - #+begin_src matlab %% Load floor motion data % t: time in [s] @@ -1346,7 +1352,7 @@ G0 = 10^(G0_db/20); % [abs] G_geo = 1/S/G0/s; % [m/V] #+end_src -The PSD $S_{V_f}$ of the measured voltage $V_f$ is computed. +The power spectral density $S_{V_f}$ of the measured voltage $V_f$ is computed. #+begin_src matlab %% Compute measured voltage PSD Fs = 1/(t(2)-t(1)); % Sampling Frequency [Hz] @@ -1355,7 +1361,7 @@ win = hanning(ceil(2*Fs)); % Hanning window [psd_V, f] = pwelch(V, win, [], [], Fs); % [V^2/Hz] #+end_src -The PSD of the corresponding displacement can be computed as follows: +The power spectral density of the corresponding displacement can be computed as follows: \begin{equation} S_{x_f}(\omega) = \frac{S_{V_f}(\omega)}{|S_{\text{geo}}(j\omega)| \cdot G_{\text{amp}} \cdot \omega} \end{equation} @@ -1559,21 +1565,16 @@ This is done for *two extreme sample masses* $m_s = 1\,\text{kg}$ and $m_s = 50\ - $k_n = 1\,N/\mu m$ that could represent a voice coil actuator with a stiff flexible guiding or a mechanically amplified piezoelectric actuator - $k_n = 100\,N/\mu m$ that could represent a stiff piezoelectric stack actuator -The obtained sensitivity to disturbances for the three nano-hexapod stiffnesses are shown in Figure ref:fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses for the light sample (same conclusions can be drawn with the heavy one). +The obtained sensitivity to disturbances for the three nano-hexapod stiffnesses are shown in Figure ref:fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses for the sample mass $m_s = 1\,\text{kg}$ (same conclusions can be drawn with $m_s = 50\,\text{kg}$). -#+begin_important From Figure ref:fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses, the following can be concluded for the *soft nano-hexapod*: - It is more sensitive to forces applied on the sample (cable forces for instance), which is expected due to the lower stiffness - Between the suspension mode of the nano-hexapod (here at 5Hz) and the first mode of the micro-station (here at 70Hz), the disturbances induced by the stage vibrations are filtered out. - Above the suspension mode of the nano-hexapod, the sample's motion is unaffected by the floor motion, and therefore the sensitivity to floor motion is close to $1$. -#+end_important #+begin_src matlab :exports none :results none %% Sensitivity to disturbances for three different nano-hexpod stiffnesses figure; -tiledlayout(1, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - -ax1 = nexttile(); hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_light('d', 'fs'), freqs, 'Hz')))); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_light('d', 'fs'), freqs, 'Hz')))); @@ -1582,8 +1583,16 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude $d/f_{s}$ [m/N]'); xlabel('Frequency [Hz]'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); +xlim([1, 500]); +#+end_src -ax2 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file none +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +%% Sensitivity to disturbances for three different nano-hexpod stiffnesses +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_light('d', 'ft'), freqs, 'Hz')))); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_light('d', 'ft'), freqs, 'Hz')))); @@ -1592,8 +1601,16 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude $d/f_{t}$ [m/N]'); xlabel('Frequency [Hz]'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); +xlim([1, 500]); +#+end_src -ax3 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file none +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +%% Sensitivity to disturbances for three different nano-hexpod stiffnesses +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_light('d', 'xf'), freqs, 'Hz'))), 'DisplayName', '$k_n = 0.01\,N/\mu m$'); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_light('d', 'xf'), freqs, 'Hz'))), 'DisplayName', '$k_n = 1 \,N/\mu m$'); @@ -1602,20 +1619,38 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude $d/x_{f}$ [m/m]'); xlabel('Frequency [Hz]'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -legend('location', 'southeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); - -linkaxes([ax1,ax2,ax3],'x'); +leg = legend('location', 'southeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); +leg.ItemTokenSize(1) = 15 xlim([1, 500]); #+end_src -#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file none +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_xf.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses -#+caption: Sensitivity to disturbances for three different nano-hexpod stiffnesses -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses.png]] +#+caption: Sensitivity of $d$ to disturbances for three different nano-hexpod stiffnesses. $f_s$ the direct forces applied on the sample (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs}), $f_t$ disturbances from the micro-station stages (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft}) and $x_f$ the floor motion (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs}) +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs}Direct forces} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft}$\mu\text{-station}$ disturbances} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_xf}Floor motion} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_xf.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure ** Open-Loop Dynamic Noise Budgeting Now, the power spectral density of the disturbances is taken into account to estimate the residual motion $d$ in each case. @@ -1651,7 +1686,7 @@ exportFig('figs/uniaxial_cas_d_disturbances_stiffnesses.pdf', 'width', 'wide', ' #+end_src #+name: fig:uniaxial_cas_d_disturbances_stiffnesses -#+caption: Cumulative Amplitude Spectrum of the relative motion d, due to both the floor motion and the stage vibrations (light sample) +#+caption: Cumulative Amplitude Spectrum of the relative motion d, due to both the floor motion and the stage vibrations ($m_s = 1\,\text{kg}$) #+RESULTS: [[file:figs/uniaxial_cas_d_disturbances_stiffnesses.png]] @@ -1706,7 +1741,6 @@ exportFig('figs/uniaxial_cas_d_disturbances_payload_masses.pdf', 'width', 'wide' :UNNUMBERED: t :END: -#+begin_important In order to have a closed-loop residual vibration $d \approx 20\,nm\text{ rms}$, if a simple feedback controller is used, the required closed-loop bandwidth would be: - $\approx 10\,\text{Hz}$ for the soft nano-hexapod ($k_n = 0.01\,N/\mu m$) - $\approx 50\,\text{Hz}$ for the relatively stiff nano-hexapod ($k_n = 1\,N/\mu m$) @@ -1715,7 +1749,6 @@ In order to have a closed-loop residual vibration $d \approx 20\,nm\text{ rms}$, This can be explained by the fact that for frequencies larger than the suspension mode of the nano-hexapod, the stage vibrations are filtered out (see Figure ref:fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses). This gives a first advantage to having a soft nano-hexapod. -#+end_important * Active Damping :PROPERTIES: @@ -1732,7 +1765,7 @@ These active damping techniques are compared in terms of: - Reduction of the effect of disturbances (i.e. $x_f$, $f_t$ and $f_s$) on the displacement $d$ (Sections ref:ssec:uniaxial_active_damping_sensitivity_disturbances and ref:ssec:uniaxial_active_damping_noise_budget) - Robustness to a change of sample's mass (Section ref:ssec:uniaxial_active_damping_robustness) -#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_strategies.pdf +#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_strategies_iff.pdf :results file raw \begin{tikzpicture} % ==================== % Parameters @@ -1849,9 +1882,27 @@ These active damping techniques are compared in terms of: \draw[->, draw=colorblue] (iff.south) |- (f.east); % ==================== \end{scope} +\end{tikzpicture} +#+end_src +#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_strategies_rdc.pdf :results file raw +\begin{tikzpicture} + % ==================== + % Parameters + % ==================== + \def\massw{2.2} % Width of the masses + \def\massh{0.8} % Height of the masses + \def\spaceh{1.2} % Height of the springs/dampers + \def\dispw{0.4} % Width of the dashed line for the displacement + \def\disph{0.3} % Height of the arrow for the displacements + \def\bracs{0.05} % Brace spacing vertically + \def\brach{-12pt} % Brace shift horizontaly + \def\fsensh{0.2} % Height of the force sensor + \def\velsize{0.2} % Size of the velocity sensor + % ==================== - \begin{scope}[shift={(5,0)}] + % RDC + \begin{scope} % ==================== % Ground % ==================== @@ -1937,8 +1988,27 @@ These active damping techniques are compared in terms of: \draw[->, draw=colorred] (rdc.south) |- (f.east); % ==================== \end{scope} +\end{tikzpicture} +#+end_src - \begin{scope}[shift={(10,0)}] +#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_strategies_dvf.pdf :results file raw +\begin{tikzpicture} + % ==================== + % Parameters + % ==================== + \def\massw{2.2} % Width of the masses + \def\massh{0.8} % Height of the masses + \def\spaceh{1.2} % Height of the springs/dampers + \def\dispw{0.4} % Width of the dashed line for the displacement + \def\disph{0.3} % Height of the arrow for the displacements + \def\bracs{0.05} % Brace spacing vertically + \def\brach{-12pt} % Brace shift horizontaly + \def\fsensh{0.2} % Height of the force sensor + \def\velsize{0.2} % Size of the velocity sensor + % ==================== + + % DVF + \begin{scope} % ==================== % Ground % ==================== @@ -2026,9 +2096,28 @@ These active damping techniques are compared in terms of: #+end_src #+name: fig:uniaxial_active_damping_strategies -#+caption: Three active damping strategies: Integral Force Feedback (IFF) using a force sensor, Relative Damping Control (RDC) using a relative displacement sensor, and Direct Velocity Feedback (DVF) using a geophone -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_active_damping_strategies.png]] +#+caption: Three active damping strategies. Integral Force Feedback (\subref{fig:uniaxial_active_damping_strategies_iff}) using a force sensor, Relative Damping Control (\subref{fig:uniaxial_active_damping_strategies_rdc}) using a relative displacement sensor, and Direct Velocity Feedback (\subref{fig:uniaxial_active_damping_strategies_dvf}) using a geophone +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_strategies_iff}IFF} +#+attr_latex: :options {0.37\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_active_damping_strategies_iff.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_strategies_rdc}RDC} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_active_damping_strategies_rdc.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_strategies_dvf}DVF} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_active_damping_strategies_dvf.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure ** Matlab Init :noexport:ignore: #+begin_src matlab :tangle no :exports none :results silent :noweb yes :var current_dir=(file-name-directory buffer-file-name) @@ -2071,16 +2160,16 @@ load('uniaxial_plants.mat', 'G_vc_light', 'G_md_light', 'G_pz_light', ... ** Active Damping Strategies <> **** Integral Force Feedback (IFF) -The Integral Force Feedback strategy consists of using a force sensor in series with the actuator (see Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv, left). +The Integral Force Feedback strategy consists of using a force sensor in series with the actuator (see Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_iff_schematic). The control strategy consists of integrating the measured force and feeding it back to the actuator: \begin{equation} \boxed{K_{\text{IFF}}(s) = \frac{g}{s}} \end{equation} -The mechanical equivalent of this strategy is to add a dashpot in series with the actuator stiffness with a damping coefficient equal to the stiffness of the actuator divided by the controller gain $k/g$ (see Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv, right). +The mechanical equivalent of this strategy is to add a dashpot in series with the actuator stiffness with a damping coefficient equal to the stiffness of the actuator divided by the controller gain $k/g$ (see Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv). -#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_iff_equiv.pdf +#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_iff_schematic.pdf :results file raw \begin{tikzpicture} % ==================== % Parameters @@ -2138,6 +2227,24 @@ The mechanical equivalent of this strategy is to add a dashpot in series with th \draw[->, draw=colorblue] (iff.west) -- (f.east) node[above right, color=colorblue]{$f$}; % ==================== \end{scope} +\end{tikzpicture} +#+end_src + +#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_iff_equiv.pdf :results file raw +\begin{tikzpicture} + % ==================== + % Parameters + % ==================== + \def\massw{2.2} % Width of the masses + \def\massh{0.8} % Height of the masses + \def\spaceh{1.2} % Height of the springs/dampers + \def\dispw{0.4} % Width of the dashed line for the displacement + \def\disph{0.3} % Height of the arrow for the displacements + \def\bracs{0.05} % Brace spacing vertically + \def\brach{-12pt} % Brace shift horizontaly + \def\fsensh{0.2} % Height of the force sensor + \def\velsize{0.2} % Size of the velocity sensor + % ==================== \begin{scope}[shift={(6, 0)}] % ==================== @@ -2174,29 +2281,41 @@ The mechanical equivalent of this strategy is to add a dashpot in series with th % ==================== \end{scope} - % Equiv - \draw[double, <->, draw=colorblue, double distance=1.5] (3.0, 1.5*\spaceh+\massh) -- ++(1.5,0); + % % Equiv + % \draw[double, <->, draw=colorblue, double distance=1.5] (3.0, 1.5*\spaceh+\massh) -- ++(1.5,0); \end{tikzpicture} #+end_src -#+name: fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv -#+caption: Integral Force Feedback is equivalent as to add a damper in series with the stiffness (the initial damping is here neglected for simplicity) -#+RESULTS: +#+name: fig:uniaxial_active_damping_iff +#+caption: Integral Force Feedback (\subref{fig:uniaxial_active_damping_iff_schematic}) is equivalent as to add a damper in series with the stiffness (\subref{fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv}) +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_iff_schematic}Integral Force Feedback} +#+attr_latex: :options {0.49\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_active_damping_iff_schematic.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv}Equivalent mechanical representation} +#+attr_latex: :options {0.49\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 [[file:figs/uniaxial_active_damping_iff_equiv.png]] - +#+end_subfigure +#+end_figure **** Relative Damping Control (RDC) -For the Relative Damping Control strategy, a relative motion sensor that measures the motion of the actuator is used (see Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv, left). +For the Relative Damping Control strategy, a relative motion sensor that measures the motion of the actuator is used (see Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_rdc_schematic). The derivative of this relative motion is used for the feedback signal: \begin{equation} \boxed{K_{\text{RDC}}(s) = - g \cdot s} \end{equation} -The mechanical equivalent is to add a dashpot in parallel with the actuator with a damping coefficient equal to the controller gain $g$ (see Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv, right). +The mechanical equivalent is to add a dashpot in parallel with the actuator with a damping coefficient equal to the controller gain $g$ (see Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv). -#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_rdc_equiv.pdf +#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_rdc_schematic.pdf \begin{tikzpicture} % ==================== % Parameters @@ -2259,8 +2378,26 @@ The mechanical equivalent is to add a dashpot in parallel with the actuator with \draw[->, draw=colorred] (rdc.south) |- (f.east) node[above right, color=colorred]{$f$}; % ==================== \end{scope} +\end{tikzpicture} +#+end_src - \begin{scope}[shift={(6, 0)}] +#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_rdc_equiv.pdf +\begin{tikzpicture} + % ==================== + % Parameters + % ==================== + \def\massw{2.2} % Width of the masses + \def\massh{0.8} % Height of the masses + \def\spaceh{1.2} % Height of the springs/dampers + \def\dispw{0.4} % Width of the dashed line for the displacement + \def\disph{0.3} % Height of the arrow for the displacements + \def\bracs{0.05} % Brace spacing vertically + \def\brach{-12pt} % Brace shift horizontaly + \def\fsensh{0.2} % Height of the force sensor + \def\velsize{0.2} % Size of the velocity sensor + % ==================== + + \begin{scope} % ==================== % Stage Below \begin{scope} @@ -2297,28 +2434,41 @@ The mechanical equivalent is to add a dashpot in parallel with the actuator with % ==================== \end{scope} - % Equiv - \draw[double, <->, draw=colorred, double distance=1.5] (3.0, 1.5*\spaceh+\massh) -- ++(1.5,0); + % % Equiv + % \draw[double, <->, draw=colorred, double distance=1.5] (3.0, 1.5*\spaceh+\massh) -- ++(1.5,0); \end{tikzpicture} #+end_src -#+name: fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv -#+caption: Relative Damping Control is equivalent as adding a damper in parallel with the actuator/relative motion sensor -#+RESULTS: +#+name: fig:uniaxial_active_damping_rdc +#+caption: Relative Damping Control (\subref{fig:uniaxial_active_damping_rdc_schematic}) is equivalent as to add a damper in parallel with the actuator/relative motion sensor (\subref{fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv}) +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_rdc_schematic}Relative motion control} +#+attr_latex: :options {0.49\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_active_damping_rdc_schematic.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv}Equivalent mechanical representation} +#+attr_latex: :options {0.49\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 [[file:figs/uniaxial_active_damping_rdc_equiv.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure **** Direct Velocity Feedback (DVF) -Finally, the Direct Velocity Feedback strategy consists of using an inertial sensor (usually a geophone), that measured the "absolute" velocity of the body fixed on top of the actuator (se Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv, left). +Finally, the Direct Velocity Feedback strategy consists of using an inertial sensor (usually a geophone), that measured the "absolute" velocity of the body fixed on top of the actuator (se Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_dvf_schematic). The measured velocity is then fed back to the actuator: \begin{equation} \boxed{K_{\text{DVF}}(s) = - g} \end{equation} -This is equivalent as to fix a dashpot (with a damping coefficient equal to the controller gain $g$) between the body (one which the inertial sensor is fixed) and an inertial reference frame (see Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv, right). +This is equivalent as to fix a dashpot (with a damping coefficient equal to the controller gain $g$) between the body (one which the inertial sensor is fixed) and an inertial reference frame (see Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv). This is usually refers to as "/sky hook damper/". -#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_dvf_equiv.pdf +#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_dvf_schematic.pdf \begin{tikzpicture} % ==================== % Parameters @@ -2380,8 +2530,26 @@ This is usually refers to as "/sky hook damper/". \draw[->, draw=coloryellow] (ppf.south) |- (f.east) node[above right, color=coloryellow]{$f$}; % ==================== \end{scope} +\end{tikzpicture} +#+end_src - \begin{scope}[shift={(6, 0)}] +#+begin_src latex :file uniaxial_active_damping_dvf_equiv.pdf +\begin{tikzpicture} + % ==================== + % Parameters + % ==================== + \def\massw{2.2} % Width of the masses + \def\massh{0.8} % Height of the masses + \def\spaceh{1.2} % Height of the springs/dampers + \def\dispw{0.4} % Width of the dashed line for the displacement + \def\disph{0.3} % Height of the arrow for the displacements + \def\bracs{0.05} % Brace spacing vertically + \def\brach{-12pt} % Brace shift horizontaly + \def\fsensh{0.2} % Height of the force sensor + \def\velsize{0.2} % Size of the velocity sensor + % ==================== + + \begin{scope} % ==================== % Stage Below \begin{scope} @@ -2422,19 +2590,32 @@ This is usually refers to as "/sky hook damper/". % ==================== \end{scope} - % Equiv - \draw[double, <->, draw=coloryellow, double distance=1.5] (2.5, 1.5*\spaceh+\massh) -- ++(1.5,0); + % % Equiv + % \draw[double, <->, draw=coloryellow, double distance=1.5] (2.5, 1.5*\spaceh+\massh) -- ++(1.5,0); \end{tikzpicture} #+end_src -#+name: fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv -#+caption: Direct velocity Feedback using an inertial sensor is equivalent to a "sky hook damper" -#+RESULTS: +#+name: fig:uniaxial_active_damping_rdc +#+caption: Direct velocity Feedback (\subref{fig:uniaxial_active_damping_dvf_schematic}) is equivalent to a "sky hook damper" (\subref{fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv}) +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_dvf_schematic}Direct velocity feedback} +#+attr_latex: :options {0.49\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_active_damping_dvf_schematic.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv}Equivalent mechanical representation} +#+attr_latex: :options {0.49\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 [[file:figs/uniaxial_active_damping_dvf_equiv.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure ** Plant Dynamics for Active Damping The plant dynamics for all three active damping techniques are shown in Figure ref:fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques. -All have *alternating poles and zeros* meaning that the phase do not vary by more than $\pm 90\,\text{deg}$ which makes the design of a robust controller very easy. +All have *alternating poles and zeros* meaning that the phase do not vary by more than $180\,\text{deg}$ which makes the design of a robust controller very easy. The reason all three plants in Figure ref:fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques have alternating poles and zeros is because the three sensors are all collocated with the actuator [[cite:&preumont18_vibrat_contr_activ_struc_fourt_edition Chapter 7]]. When the nano-hexapod's suspension modes are at lower frequencies than the resonances of the micro-station (blue and red curves in Figure ref:fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques), the resonances of the micro-stations have little impact on the IFF and DVF transfer functions. @@ -2444,8 +2625,9 @@ Therefore, it is expected that the micro-station dynamics might impact the achie #+begin_src matlab :exports none :results none %% Damped plants for three considered payload masses - Comparison of active damping techniques +% Integral Force Feedback figure; -tiledlayout(3, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); ax1 = nexttile([2,1]); hold on; @@ -2461,41 +2643,6 @@ plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_heavy('fm', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'c hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude [N/N]'); set(gca, 'XTickLabel',[]); -title('IFF: $f_m/f$'); -ldg = legend('location', 'southeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); -ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; - -ax2 = nexttile([2,1]); -hold on; -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_light('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid( 'dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(1,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_heavy('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(1,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_light('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid( 'dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(2,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_heavy('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(2,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_light('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid( 'dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(3,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_heavy('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(3,:)); -hold off; -set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -ylabel('Amplitude [m/N]'); set(gca, 'XTickLabel',[]); -title('RDC: $d\mathcal{L}/f$'); - -ax3 = nexttile([2,1]); -hold on; -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_light('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', '$k_n = 0.01\,N/\mu m$'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid( 'vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(1,:), 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_heavy('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(1,:), 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_light('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:), 'DisplayName', '$k_n = 1\,N/\mu m$'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid( 'vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(2,:), 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_heavy('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(2,:), 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_light('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:), 'DisplayName', '$k_n = 100\,N/\mu m$'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid( 'vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(3,:), 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_heavy('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(3,:), 'HandleVisibility', 'off'); -hold off; -set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -ylabel('Amplitude [m/s/N]'); set(gca, 'XTickLabel',[]); -title('DVF: $v_n/f$'); ldg = legend('location', 'southeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; @@ -2517,6 +2664,34 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); +linkaxes([ax1,ax1b],'x'); +xlim([1, 1000]); +#+end_src + +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques_iff.pdf', 'width', 'third', 'height', 'tall'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +% Relative Motion Control +figure; +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); + +ax2 = nexttile([2,1]); +hold on; +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_light('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid( 'dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(1,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_heavy('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(1,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_light('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid( 'dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(2,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_heavy('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(2,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_light('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid( 'dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(3,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_heavy('dL', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(3,:)); +hold off; +set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); +ylabel('Amplitude [m/N]'); set(gca, 'XTickLabel',[]); + ax2b = nexttile(); hold on; plot(freqs, 180/pi*unwrap(angle(squeeze(freqresp(G_vc_light('dL', 'f'), freqs, 'Hz')))), '-', 'color', colors(1,:)); @@ -2535,6 +2710,36 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); +linkaxes([ax2,ax2b],'x'); +xlim([1, 1000]); +#+end_src + +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques_rdc.pdf', 'width', 'third', 'height', 'tall'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +% Direct Velocity Feedback +figure; +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); + +ax3 = nexttile([2,1]); +hold on; +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_light('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', '$k_n = 0.01\,N/\mu m$'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid( 'vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(1,:), 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_heavy('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(1,:), 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_light('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:), 'DisplayName', '$k_n = 1\,N/\mu m$'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid( 'vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(2,:), 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_heavy('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(2,:), 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_light('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:), 'DisplayName', '$k_n = 100\,N/\mu m$'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid( 'vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(3,:), 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_heavy('vn', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(3,:), 'HandleVisibility', 'off'); +hold off; +set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); +ylabel('Amplitude [m/s/N]'); set(gca, 'XTickLabel',[]); +ldg = legend('location', 'southeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); +ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; + ax3b = nexttile(); hold on; plot(freqs, 180/pi*unwrap(angle(squeeze(freqresp(G_vc_light('vn', 'f'), freqs, 'Hz')))), '-', 'color', colors(1,:)); @@ -2553,18 +2758,37 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-110, 110]); -linkaxes([ax1,ax2,ax3,ax1b,ax2b,ax3b],'x'); +linkaxes([ax3,ax3b],'x'); xlim([1, 1000]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques.pdf', 'width', 'full', 'height', 'tall'); +exportFig('figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques_dvf.pdf', 'width', 'third', 'height', 'tall'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques -#+caption: Plant dynamics for the three active damping techniques (IFF: right, RDC: middle, DVF: left), for three nano-hexapod stiffnesses ($k_n = 0.01\,N/\mu m$ in blue, $k_n = 1\,N/\mu m$ in red and $k_n = 100\,N/\mu m$ in yellow) and three sample's masses ($m_s = 1\,kg$: solid curves, $m_s = 25\,kg$: dot-dashed curves, and $m_s = 50\,kg$: dashed curves). -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques.png]] +#+caption: Plant dynamics for the three active damping techniques (IFF: \subref{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_iff}, RDC: \subref{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_rdc}, DVF: \subref{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_dvf}), for three nano-hexapod stiffnesses ($k_n = 0.01\,N/\mu m$ in blue, $k_n = 1\,N/\mu m$ in red and $k_n = 100\,N/\mu m$ in yellow) and three sample's masses ($m_s = 1\,kg$: solid curves, $m_s = 25\,kg$: dot-dashed curves, and $m_s = 50\,kg$: dashed curves). +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_iff}IFF} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :width 0.99\linewidth +[[file:figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques_iff.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_rdc}RDC} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :width 0.99\linewidth +[[file:figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques_rdc.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_dvf}DVF} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :width 0.99\linewidth +[[file:figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques_dvf.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure ** Achievable Damping - Root Locus <> @@ -2574,29 +2798,26 @@ They are shown in Figure ref:fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques. All three active damping approach can lead to *critical damping* of the nano-hexapod suspension mode. There is even some damping authority on micro-station modes in the following cases: -- IFF with a stiff nano-hexapod (Figure ref:fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques, right) :: - This can be understood from the mechanical equivalent of IFF shown in Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv (right) considering an high stiffness $k$. +- IFF with a stiff nano-hexapod (Figure ref:fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_stiff) :: + This can be understood from the mechanical equivalent of IFF shown in Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv considering an high stiffness $k$. The micro-station top platform is connected to an inertial mass (the nano-hexapod) through a damper, which damps the micro-station suspension suspension mode. -- DVF with a stiff nano-hexapod (Figure ref:fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques, right) :: - In that case, the "sky hook damper" (see mechanical equivalent of IFF in Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv, right) is connected to the micro-station top platform through the stiff nano-hexapod. +- DVF with a stiff nano-hexapod (Figure ref:fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_stiff) :: + In that case, the "sky hook damper" (see mechanical equivalent of DVF in Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv) is connected to the micro-station top platform through the stiff nano-hexapod. - RDC with a soft nano-hexapod (Figure ref:fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_micro_station_mode) :: At the frequency of the micro-station mode, the nano-hexapod top mass is behaving as an inertial reference as the suspension mode of the soft nano-hexapod is at much lower frequency. - The micro-station and the nano-hexapod masses are connected through a large damper induced by RDC (see mechanical equivalent in Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv, right) which allows some damping of the micro-station. + The micro-station and the nano-hexapod masses are connected through a large damper induced by RDC (see mechanical equivalent in Figure ref:fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv) which allows some damping of the micro-station. #+begin_src matlab :exports none %% Active Damping Robustness to change of sample's mass - Root Locus for all three damping techniques with 3 different sample's masses +% Soft Nano-Hexapod figure; -tiledlayout(1, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - -%% Soft Nano-Hexapod -ax1 = nexttile(); hold on; % IFF plot(real(pole(G_vc_light('fm', 'f'))), imag(pole(G_vc_light('fm', 'f'))), 'x', 'color', colors(1,:), ... 'HandleVisibility', 'off'); plot(real(zero(G_vc_light('fm', 'f'))), imag(zero(G_vc_light('fm', 'f'))), 'o', 'color', colors(1,:), ... 'DisplayName', 'IFF'); -for g = logspace(0, 2, 400) +for g = logspace(0,2,400) clpoles = pole(feedback(G_vc_light('fm', 'f'), g/s, +1)); plot(real(clpoles), imag(clpoles), '.', 'color', colors(1,:), ... 'HandleVisibility', 'off'); @@ -2626,13 +2847,19 @@ end hold off; axis square; xlabel('Real Part'); ylabel('Imaginary Part'); -title('$k_n = 0.01\,N/\mu m$') ldg = legend('location', 'northwest', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); ldg.ItemTokenSize = [10, 1]; xlim([-30, 0]); ylim([0, 30]); +ytickangle(90) +#+end_src -%% Medium-Stiff Nano-Hexapod -ax2 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques_soft.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none +% Medium-Stiff Nano-Hexapod +figure; hold on; % IFF plot(real(pole(G_md_light('fm', 'f'))), imag(pole(G_md_light('fm', 'f'))), 'x', 'color', colors(1,:), ... @@ -2669,11 +2896,17 @@ end hold off; axis square; xlabel('Real Part'); ylabel('Imaginary Part'); -title('$k_n = 1\,N/\mu m$') xlim([-300, 0]); ylim([0, 300]); +ytickangle(90) +#+end_src -%% Stiff Nano-Hexapod -ax3 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques_mid.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none +% Stiff Nano Hexapod +figure; hold on; % IFF plot(real(pole(G_pz_light('fm', 'f'))), imag(pole(G_pz_light('fm', 'f'))), 'x', 'color', colors(1,:), ... @@ -2710,18 +2943,37 @@ end hold off; axis square; xlabel('Real Part'); ylabel('Imaginary Part'); -title('$k_n = 100\,N/\mu m$') xlim([-4000, 0]); ylim([0, 4000]); +ytickangle(90) #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +exportFig('figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques_stiff.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques #+caption: Root Loci for the three active damping techniques (IFF in blue, RDC in red and DVF in yellow). This is shown for three nano-hexapod stiffnesses. The Root Loci are zoomed on the suspension mode of the nano-hexapod. -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques.png]] +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques_soft.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques_mid.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques_stiff.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure #+begin_src matlab :exports none :results none %% Root Locus for the three damping techniques @@ -2908,25 +3160,21 @@ save('./mat/uniaxial_damped_plants.mat', 'G_iff_vc_light', 'G_iff_md_light', 'G_ 'G_dvf_vc_heavy', 'G_dvf_md_heavy', 'G_dvf_pz_heavy'); #+end_src -** Change of sensitivity to disturbances +** Sensitivity to disturbances <> The sensitivity to disturbances (direct forces $f_s$, stage vibrations $f_t$ and floor motion $x_f$) for all three active damping techniques are compared in Figure ref:fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping. The comparison is done with the nano-hexapod having a stiffness $k_n = 1\,N/\mu m$. -#+begin_important Conclusions from Figure ref:fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping are: - IFF degrades the sensitivity to direct forces on the sample (i.e. the compliance) below the resonance of the nano-hexapod - RDC degrades the sensitivity to stage vibrations around the nano-hexapod's resonance as compared to the other two methods - both IFF and DVF degrades the sensitivity to floor motion below the resonance of the nano-hexapod -#+end_important #+begin_src matlab :exports none :results none %% Change of sensitivity to disturbance with all three active damping strategies +% FS figure; -tiledlayout(1, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - -ax1 = nexttile(); hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid('d', 'fs'), freqs, 'Hz'))), 'k-'); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_mid('d', 'fs'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(1,:)); @@ -2936,8 +3184,15 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude $d/f_{s}$ [m/N]'); xlabel('Frequency [Hz]'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); +xlim([1, 500]); +#+end_src -ax2 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_fs.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid('d', 'ft'), freqs, 'Hz'))), 'k-'); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_mid('d', 'ft'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(1,:)); @@ -2947,8 +3202,15 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude $d/f_{t}$ [m/N]'); xlabel('Frequency [Hz]'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); +xlim([1, 500]); +#+end_src -ax3 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_ft.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid('d', 'xf'), freqs, 'Hz'))), 'k-', 'DisplayName', 'OL'); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_mid('d', 'xf'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(1,:), 'DisplayName', 'IFF'); @@ -2959,19 +3221,36 @@ set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude $d/x_{f}$ [m/m]'); xlabel('Frequency [Hz]'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); legend('location', 'southeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); - -linkaxes([ax1,ax2,ax3],'x'); xlim([1, 500]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_xf.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping -#+caption: Change of sensitivity to disturbance with all three active damping strategies -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping.png]] +#+caption: Change of sensitivity to disturbance with all three active damping strategies. $f_s$ the direct forces applied on the sample (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_fs}), $f_t$ disturbances from the micro-station stages (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_ft}) and $x_f$ the floor motion (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_fs}) +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_fs}Direct forces} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_fs.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_ft}$\mu\text{-station}$ disturbances} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_ft.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_xf}Floor motion} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_xf.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure ** Noise Budgeting after Active Damping <> @@ -2983,9 +3262,6 @@ Compared to the open-loop case, the active damping helps to lower the vibrations #+begin_src matlab :exports none :results none %% Cumulative Amplitude Spectrum of the distance d with all three active damping techniques figure; -tiledlayout(1, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - -ax1 = nexttile(); hold on; plot(f, sqrt(flip(-cumtrapz(flip(f), flip(psd_ft.*abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid('d', 'ft'), f, 'Hz'))).^2 + ... psd_xf.*abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid('d', 'xf'), f, 'Hz'))).^2)))), '-', ... @@ -3003,9 +3279,16 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('CAS of $d$ [m]'); xlabel('Frequency [Hz]'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('$k_n = 0.01\,N/\mu m$') +xlim([1, 500]); +ylim([2e-10, 3e-6]) +#+end_src -ax2 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_cas_active_damping_soft.pdf', 'width', 450, 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(f, sqrt(flip(-cumtrapz(flip(f), flip(psd_ft.*abs(squeeze(freqresp(G_md_mid('d', 'ft'), f, 'Hz'))).^2 + ... psd_xf.*abs(squeeze(freqresp(G_md_mid('d', 'xf'), f, 'Hz'))).^2)))), '-', ... @@ -3023,9 +3306,16 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xlabel('Frequency [Hz]'); set(gca, 'YTickLabel',[]); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('$k_n = 1\,N/\mu m$') +xlim([1, 500]); +ylim([2e-10, 3e-6]) +#+end_src -ax3 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_cas_active_damping_mid.pdf', 'width', 400, 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(f, sqrt(flip(-cumtrapz(flip(f), flip(psd_ft.*abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid('d', 'ft'), f, 'Hz'))).^2 + ... psd_xf.*abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid('d', 'xf'), f, 'Hz'))).^2)))), '-', ... @@ -3043,22 +3333,38 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xlabel('Frequency [Hz]'); set(gca, 'YTickLabel',[]); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('$k_n = 100\,N/\mu m$') legend('location', 'southwest', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); - -linkaxes([ax1,ax2,ax3], 'xy') xlim([1, 500]); ylim([2e-10, 3e-6]) #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_cas_active_damping.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +exportFig('figs/uniaxial_cas_active_damping_stiff.pdf', 'width', 400, 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_cas_active_damping #+caption: Comparison of the cumulative amplitude spectrum (CAS) of the distance $d$ for all three active damping techniques (OL in black, IFF in blue, RDC in red and DVF in yellow). -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_cas_active_damping.png]] +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_active_damping_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.37\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_cas_active_damping_soft.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_active_damping_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_cas_active_damping_mid.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_active_damping_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_cas_active_damping_stiff.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure ** Obtained Closed Loop Response The transfer functions from the plant input $f$ to the relative displacement $d$ while the active damping is implemented are shown in Figure ref:fig:uniaxial_damped_plant_three_active_damping_techniques. @@ -3078,7 +3384,7 @@ plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_md_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color' hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude $d/f$ [m/N]'); set(gca, 'XTickLabel',[]); -legend('location', 'northwest', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); +legend('location', 'southwest', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); ax2 = nexttile(); hold on; @@ -3097,7 +3403,7 @@ xlim([1, 500]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_damped_plant_three_active_damping_techniques.pdf', 'width', 'wide', 'height', 'tall'); +exportFig('figs/uniaxial_damped_plant_three_active_damping_techniques.pdf', 'width', 'normal', 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_damped_plant_three_active_damping_techniques @@ -3106,11 +3412,11 @@ exportFig('figs/uniaxial_damped_plant_three_active_damping_techniques.pdf', 'wid [[file:figs/uniaxial_damped_plant_three_active_damping_techniques.png]] The damped plants are shown in Figure ref:fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass for all three techniques, with the three considered nano-hexapod stiffnesses and sample's masses. + #+begin_src matlab :exports none :results none %% Damped plant - Robustness to change of sample's mass figure; -tiledlayout(3, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); ax1 = nexttile([2,1]); hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5], 'HandleVisibility', 'off'); @@ -3128,49 +3434,6 @@ plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_pz_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude [m/N]'); set(gca, 'XTickLabel',[]); -title('IFF'); -ylim([5e-10, 1e-3]); -ldg = legend('location', 'northeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); -ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; - -ax2 = nexttile([2,1]); -hold on; -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5]); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5]); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5]); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_vc_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_vc_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(1,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_vc_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(1,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_md_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_md_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(2,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_md_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(2,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_pz_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_pz_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(3,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_pz_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(3,:)); -hold off; -set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); -title('RDC'); -ylim([5e-10, 1e-3]); - -ax3 = nexttile([2,1]); -hold on; -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5], 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5], 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5], 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_vc_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', '$m_s = 1\,kg$'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_vc_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', '$m_s = 25\,kg$'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_vc_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', '$m_s = 50\,kg$'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_md_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:), 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_md_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(2,:), 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_md_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(2,:), 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_pz_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:), 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_pz_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(3,:), 'HandleVisibility', 'off'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_pz_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(3,:), 'HandleVisibility', 'off'); -hold off; -set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); -title('DVF'); ylim([5e-10, 1e-3]); ldg = legend('location', 'northeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; @@ -3196,6 +3459,36 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); +linkaxes([ax1,ax1b],'x'); +xlim([1, 1e3]); +#+end_src + +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_iff.pdf', 'width', 400, 'height', 'tall'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); +ax2 = nexttile([2,1]); +hold on; +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5]); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5]); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5]); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_vc_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_vc_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(1,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_vc_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(1,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_md_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_md_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(2,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_md_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(2,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_pz_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_pz_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(3,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_rdc_pz_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(3,:)); +hold off; +set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); +set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); +ylim([5e-10, 1e-3]); + ax2b = nexttile(); hold on; plot(freqs, 180/pi*unwrap(angle(squeeze(freqresp(G_vc_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz')))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5]); @@ -3217,6 +3510,38 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); +linkaxes([ax2,ax2b],'x'); +xlim([1, 1e3]); +#+end_src + +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_rdc.pdf', 'width', 350, 'height', 'tall'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); +ax3 = nexttile([2,1]); +hold on; +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5], 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5], 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5], 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_vc_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', '$m_s = 1\,kg$'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_vc_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', '$m_s = 25\,kg$'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_vc_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', '$m_s = 50\,kg$'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_md_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:), 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_md_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(2,:), 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_md_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(2,:), 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_pz_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:), 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_pz_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), '-.', 'color', colors(3,:), 'HandleVisibility', 'off'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_dvf_pz_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', colors(3,:), 'HandleVisibility', 'off'); +hold off; +set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); +set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); +ylim([5e-10, 1e-3]); +ldg = legend('location', 'northeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); +ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; + ax3b = nexttile(); hold on; plot(freqs, 180/pi*unwrap(angle(squeeze(freqresp(G_vc_mid('d', 'f'), freqs, 'Hz')))), '-', 'color', [0, 0, 0, 0.5]); @@ -3238,18 +3563,37 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); -linkaxes([ax1,ax2,ax3,ax1b,ax2b,ax3b],'x'); +linkaxes([ax3,ax3b],'x'); xlim([1, 1e3]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass.pdf', 'width', 'full', 'height', 'tall'); +exportFig('figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_dvf.pdf', 'width', 350, 'height', 'tall'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass #+caption: Damped plant $d/f$ - Robustness to change of sample's mass for all three active damping techniques. Grey curves are the open-loop (i.e. undamped) plants. -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass.png]] +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_iff}Integral Force Feedback} +#+attr_latex: :options {0.37\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_iff.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_rdc}Relative Motion Control} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_rdc.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_dvf}Direct Velocity Feedback} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_dvf.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure ** Robustness to change of payload's mass <> @@ -3262,10 +3606,7 @@ We can see that having heavier samples yields larger damping for IFF and smaller #+begin_src matlab :exports none %% Active Damping Robustness to change of sample's mass - Root Locus for all three damping techniques with 3 different sample's masses figure; -tiledlayout(1, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - -%% Integral Force Feedback -ax1 = nexttile(); +% Integral Force Feedback hold on; % Light Sample plot(real(pole(G_md_light('fm', 'f'))), imag(pole(G_md_light('fm', 'f'))), 'x', 'color', colors(1,:), ... @@ -3311,12 +3652,18 @@ plot(real(clpoles), imag(clpoles), 'square', 'color', colors(3,:), ... hold off; axis square; xlabel('Real Part'); ylabel('Imaginary Part'); -title('IFF') ldg = legend('location', 'northwest', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); ldg.ItemTokenSize = [10, 1]; +xlim([-300, 0]); ylim([0, 300]); +#+end_src -%% Relative Damping Control -ax2 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_iff.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none +figure +% Relative Damping Control hold on; % Light Sample plot(real(pole(G_md_light('dL', 'f'))), imag(pole(G_md_light('dL', 'f'))), 'x', 'color', colors(1,:), ... @@ -3362,10 +3709,16 @@ plot(real(clpoles), imag(clpoles), 'square', 'color', colors(3,:), ... hold off; axis square; xlabel('Real Part'); ylabel('Imaginary Part'); -title('RDC'); +xlim([-300, 0]); ylim([0, 300]); +#+end_src -%% Direct Velocity Feedback -ax3 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_rdc.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none +figure; +% Direct Velocity Feedback hold on; % Light Sample plot(real(pole(G_md_light('vn', 'f'))), imag(pole(G_md_light('vn', 'f'))), 'x', 'color', colors(1,:), ... @@ -3411,32 +3764,46 @@ plot(real(clpoles), imag(clpoles), 'square', 'color', colors(3,:), ... hold off; axis square; xlabel('Real Part'); ylabel('Imaginary Part'); -title('DVF'); - -linkaxes([ax1,ax2,ax3],'xy'); xlim([-300, 0]); ylim([0, 300]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +exportFig('figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_dvf.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus #+caption: Active Damping Robustness to change of sample's mass - Root Locus for all three damping techniques with 3 different sample's masses -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus.png]] +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_iff}Integral Force Feedback} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_iff.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_rdc}Relative Motion Control} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_rdc.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_dvf}Direct Velocity Feedback} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_dvf.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure ** Conclusion :PROPERTIES: :UNNUMBERED: t :END: -#+begin_important Conclusions for Active Damping: - All three active damping techniques yields good damping (Figure ref:fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques) and similar remaining vibrations (Figure ref:fig:uniaxial_cas_active_damping) - The obtained damped plants (Figure ref:fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass) are equivalent for the three active damping techniques - Which one to be used will be determined with the use of more accurate models and will depend on which is the easiest to implement in practice -#+end_important #+name: tab:comp_active_damping #+caption: Comparison of active damping strategies @@ -3720,7 +4087,7 @@ Such effect will be explained in Section ref:sec:uniaxial_support_compliance. #+begin_src matlab :exports none :results none %% Damped plant - Robustness to change of sample's mass figure; -tiledlayout(3, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); ax1 = nexttile([2,1]); hold on; @@ -3734,41 +4101,8 @@ text(20, 4e-8, sprintf('Small\nInteraction'), 'horizontalalignment', 'center'); hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude [m/N]'); set(gca, 'XTickLabel',[]); -title('$k_n = 0.01\,N/\mu m$'); ylim([5e-10, 1e-3]); -ax2 = nexttile([2,1]); -hold on; -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', [colors(1,:), 0.5]); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(1,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(2,:)); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(3,:)); -loglog(10.^(0.4*cos([0:0.01:2*pi])+log10(200)), ... - 10.^(0.8*sin([0:0.01:2*pi]-pi/4)+log10(2e-8)), 'k--'); -text(40, 1e-8, sprintf('Small\nInteraction'), 'horizontalalignment', 'center'); -hold off; -set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); -title('$k_n = 1\,N/\mu m$'); -ylim([5e-10, 1e-3]); - -ax3 = nexttile([2,1]); -hold on; -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', [colors(1,:), 0.5], 'DisplayName', '$m_s = 1\,kg$, OL'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_pz_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(1,:), 'DisplayName', '$m_s = 1\,kg$, IFF'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_pz_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(2,:), 'DisplayName', '$m_s = 25\,kg$, IFF'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_pz_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(3,:), 'DisplayName', '$m_s = 50\,kg$, IFF'); -loglog(10.^(0.8*cos([0:0.01:2*pi])+log10(350)), ... - 10.^(1.2*sin([0:0.01:2*pi])+log10(8e-9)), 'k--', 'HandleVisibility', 'off'); -text(200, 5e-7, sprintf('$\\mu$ Station\nCoupling'), 'horizontalalignment', 'center'); -hold off; -set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); -title('$k_n = 100\,N/\mu m$'); -ylim([5e-10, 1e-3]); -ldg = legend('location', 'northeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); -ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; - ax1b = nexttile(); hold on; plot(freqs, 180/pi*unwrap(angle(squeeze(freqresp(G_vc_light('d', 'f'), freqs, 'Hz')))), 'color', [colors(1,:), 0.5]); @@ -3782,6 +4116,31 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); +linkaxes([ax1,ax1b],'x'); +xlim([1, 1e3]); +#+end_src + +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_soft.pdf', 'width', 400, 'height', 'tall'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); +ax2 = nexttile([2,1]); +hold on; +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', [colors(1,:), 0.5]); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(1,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(2,:)); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(3,:)); +loglog(10.^(0.4*cos([0:0.01:2*pi])+log10(200)), ... + 10.^(0.8*sin([0:0.01:2*pi]-pi/4)+log10(2e-8)), 'k--'); +text(40, 1e-8, sprintf('Small\nInteraction'), 'horizontalalignment', 'center'); +hold off; +set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); +set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); +ylim([5e-10, 1e-3]); + ax2b = nexttile(); hold on; plot(freqs, 180/pi*unwrap(angle(squeeze(freqresp(G_md_light('d', 'f'), freqs, 'Hz')))), 'color', [colors(1,:), 0.5]); @@ -3795,6 +4154,33 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); +linkaxes([ax2,ax2b],'x'); +xlim([1, 1e3]); +#+end_src + +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_mid.pdf', 'width', 350, 'height', 'tall'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); +ax3 = nexttile([2,1]); +hold on; +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', [colors(1,:), 0.5], 'DisplayName', '$m_s = 1\,kg$, OL'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_pz_light('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(1,:), 'DisplayName', '$m_s = 1\,kg$, IFF'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_pz_mid( 'd', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(2,:), 'DisplayName', '$m_s = 25\,kg$, IFF'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_pz_heavy('d', 'f'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(3,:), 'DisplayName', '$m_s = 50\,kg$, IFF'); +loglog(10.^(0.8*cos([0:0.01:2*pi])+log10(350)), ... + 10.^(1.2*sin([0:0.01:2*pi])+log10(8e-9)), 'k--', 'HandleVisibility', 'off'); +text(200, 5e-7, sprintf('$\\mu$ Station\nCoupling'), 'horizontalalignment', 'center'); +hold off; +set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); +set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); +ylim([5e-10, 1e-3]); +ldg = legend('location', 'northeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); +ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; + ax3b = nexttile(); hold on; plot(freqs, 180/pi*unwrap(angle(squeeze(freqresp(G_pz_light('d', 'f'), freqs, 'Hz')))), 'color', [colors(1,:), 0.5]); @@ -3808,18 +4194,37 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); -linkaxes([ax1,ax2,ax3,ax1b,ax2b,ax3b],'x'); +linkaxes([ax3,ax3b],'x'); xlim([1, 1e3]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses.pdf', 'width', 'full', 'height', 'tall'); +exportFig('figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_stiff.pdf', 'width', 350, 'height', 'tall'); #+end_src -#+name: fig:uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses +#+name: fig:uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_stiff #+caption: Obtained damped plant using Integral Force Feedback for three sample's masses -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses.png]] +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.37\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_soft.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_mid.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_stiff.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure ** Position Feedback Controller <> @@ -3877,10 +4282,10 @@ The loop gains for the three nano-hexapod are shown in Figure ref:fig:uniaxial_l We can see that: - for the soft and moderately stiff nano-hexapod, the crossover frequency varies a lot with the sample mass. This is due to the fact that the crossover frequency corresponds to the mass line of the plant. -- for the stiff nano-hexapod, the obtained crossover frequency is not at high as what was estimated necessary. +- for the stiff nano-hexapod, the obtained crossover frequency is not as high as what was estimated necessary. The crossover frequency in that case is close to the stiffness line of the plant, which makes the robust design of the controller easier. -Note that these controllers were quickly tuned by hand and not designed using any optimization methods. +Note that these controllers were not designed using any optimization methods. The goal is just to have a first estimation of the attainable performance. #+begin_src matlab :exports none @@ -4106,9 +4511,6 @@ isstable(G_hac_iff_pz_light) && isstable(G_hac_iff_pz_mid) && isstable(G_hac_iff #+begin_src matlab :exports none :results none %% Change of sensitivity to disturbances with LAC and with HAC-LAC figure; -tiledlayout(1, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - -ax1 = nexttile(); hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid( 'd', 'fs'), freqs, 'Hz'))), 'k-'); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_mid('d', 'fs'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(1,:)); @@ -4117,8 +4519,15 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); ylabel('Amplitude $d/f_{s}$ [m/N]'); xlabel('Frequency [Hz]'); +xlim([1, 500]); +#+end_src -ax2 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_fs.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid( 'd', 'ft'), freqs, 'Hz'))), 'k-'); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_mid('d', 'ft'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(1,:)); @@ -4127,8 +4536,15 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); ylabel('Amplitude $d/f_{t}$ [m/N]'); xlabel('Frequency [Hz]'); +xlim([1, 500]); +#+end_src -ax3 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_ft.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_md_mid( 'd', 'xf'), freqs, 'Hz'))), 'k-', 'DisplayName', 'OL'); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_iff_md_mid('d', 'xf'), freqs, 'Hz'))), 'color', colors(1,:), 'DisplayName', 'IFF'); @@ -4138,19 +4554,36 @@ set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); ylabel('Amplitude $d/x_{f}$ [m/m]'); xlabel('Frequency [Hz]'); legend('location', 'southeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); - -linkaxes([ax1,ax2,ax3],'x'); xlim([1, 500]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +exportFig('figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_xf.pdf', 'width', 'third', 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac -#+caption: Change of sensitivity to disturbances with LAC and with HAC-LAC. Nano-Hexapod with $k_n = 1\,N/\mu m$ and sample mass of $25\,kg$ are used. -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac.png]] +#+caption: Change of sensitivity to disturbances with LAC and with HAC-LAC. Nano-Hexapod with $k_n = 1\,N/\mu m$ and sample mass of $25\,kg$ are used. $f_s$ the direct forces applied on the sample (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_fs}), $f_t$ disturbances from the micro-station stages (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_ft}) and $x_f$ the floor motion (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_fs}) +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_fs}Direct forces} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_fs.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_ft}$\mu\text{-station}$ disturbances} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_ft.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_xf}Floor motion} +#+attr_latex: :options {0.33\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_xf.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure The cumulative amplitude spectrum of the motion $d$ is computed for all nano-hexapod configurations, all sample masses and in the open-loop (OL), damped (IFF) and position controlled (HAC-IFF) cases. The results are shown in Figure ref:fig:uniaxial_cas_hac_lac. @@ -4159,9 +4592,6 @@ Obtained root mean square values of the distance $d$ are better for the soft nan #+begin_src matlab :exports none :results none %% Cumulative Amplitude Spectrum for all three nano-hexapod stiffnesses - Comparison of OL, IFF and HAC-LAC cases figure; -tiledlayout(1, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - -ax1 = nexttile(); hold on; plot(f, sqrt(flip(-cumtrapz(flip(f), flip(psd_ft.*abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid('d', 'ft'), f, 'Hz'))).^2 + ... psd_xf.*abs(squeeze(freqresp(G_vc_mid('d', 'xf'), f, 'Hz'))).^2)))), '-', ... @@ -4195,9 +4625,16 @@ set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); ylabel('CAS of $d$ [m]'); xlabel('Frequency [Hz]'); legend('location', 'southwest', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); -title('$k_n = 0.01\,N/\mu m$'); +xlim([1, 500]); +ylim([2e-10, 3e-6]) +#+end_src -ax2 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_cas_hac_lac_soft.pdf', 'width', 450, 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(f, sqrt(flip(-cumtrapz(flip(f), flip(psd_ft.*abs(squeeze(freqresp(G_md_mid('d', 'ft'), f, 'Hz'))).^2 + ... psd_xf.*abs(squeeze(freqresp(G_md_mid('d', 'xf'), f, 'Hz'))).^2)))), '-', ... @@ -4230,9 +4667,16 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); xlabel('Frequency [Hz]'); set(gca, 'YTickLabel',[]); -title('$k_n = 1\,N/\mu m$'); +xlim([1, 500]); +ylim([2e-10, 3e-6]) +#+end_src -ax3 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_cas_hac_lac_mid.pdf', 'width', 400, 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(f, sqrt(flip(-cumtrapz(flip(f), flip(psd_ft.*abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid('d', 'ft'), f, 'Hz'))).^2 + ... psd_xf.*abs(squeeze(freqresp(G_pz_mid('d', 'xf'), f, 'Hz'))).^2)))), '-', ... @@ -4265,35 +4709,49 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); xlabel('Frequency [Hz]'); set(gca, 'YTickLabel',[]); -title('$k_n = 100\,N/\mu m$'); - -linkaxes([ax1,ax2,ax3],'xy'); xlim([1, 500]); ylim([2e-10, 3e-6]) #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_cas_hac_lac.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +exportFig('figs/uniaxial_cas_hac_lac_stiff.pdf', 'width', 400, 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_cas_hac_lac #+caption: Cumulative Amplitude Spectrum for all three nano-hexapod stiffnesses - Comparison of OL, IFF and HAC-LAC cases -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_cas_hac_lac.png]] +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_hac_lac_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.37\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_cas_hac_lac_soft.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_hac_lac_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_cas_hac_lac_mid.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_hac_lac_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_cas_hac_lac_stiff.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure ** Conclusion :PROPERTIES: :UNNUMBERED: t :END: -#+begin_important Based on the open-loop noise budgeting made in Section ref:sec:uniaxial_noise_budgeting, the closed-loop bandwidth required to obtain acceptable vibration levels was estimated. In order to obtain such bandwidth, the HAC-LAC strategy was followed which consists of applying an active damping controller and then a high authority position feedback controller. -In this section, feedback controllers were design in such a way that the required closed-loop bandwidth was reached while being robust to a change of payload mass. +In this section, feedback controllers were designed in such a way that the required closed-loop bandwidth was reached while being robust to a change of payload mass. The attainable vibration control performances were estimated for the three nano-hexapod stiffnesses and were found to be close to the required values. A slight advantage can be given to the soft nano-hexapod as it requires less feedback bandwidth while giving better stability results. -#+end_important * Effect of limited micro-station compliance :PROPERTIES: @@ -4499,54 +4957,80 @@ G_stiff_a = 1/(m*s^2 + c_stiff*s + k_stiff); % Transfer function from F to L' freqs = logspace(0, 3, 1000); figure; -tiledlayout(1, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - -ax1 = nexttile(); hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_soft_a, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:)); text(50, 5e-5, '$\omega_\nu =$ 10Hz', 'horizontalalignment', 'center'); hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -ylabel('Magnitude [m/N]'); +xlabel('Frequency [Hz]'); ylabel('Magnitude [m/N]'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('"Soft" $\nu$-hexapod'); +xlim([freqs(1), freqs(end)]); +ylim([1e-9, 1e-4]); +#+end_src -ax2 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected_soft.pdf', 'width', 450, 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_mid_a, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:)); text(70, 3e-6, '$\omega_\nu =$ 70Hz', 'horizontalalignment', 'center'); hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -xlabel('Frequency [Hz]'); -set(gca, 'YTickLabel',[]); +xlabel('Frequency [Hz]'); set(gca, 'YTickLabel',[]); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('"Mid" $\nu$-hexapod'); +xlim([freqs(1), freqs(end)]); +ylim([1e-9, 1e-4]); +#+end_src -ax3 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected_mid.pdf', 'width', 400, 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_stiff_a, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:), ... 'DisplayName', '$L^\prime/F$'); text(200, 8e-8, '$\omega_\nu =$ 400Hz', 'horizontalalignment', 'center'); hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -set(gca, 'YTickLabel',[]); +xlabel('Frequency [Hz]'); set(gca, 'YTickLabel',[]); legend('location', 'northeast'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('"Stiff" $\nu$-hexapod'); - -linkaxes([ax1,ax2,ax3],'xy'); xlim([freqs(1), freqs(end)]); ylim([1e-9, 1e-4]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected_stiff.pdf', 'width', 400, 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_effect_support_compliance_neglected #+caption: Obtained transfer functions from $F$ to $L^{\prime}$ when neglecing support compliance -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected.png]] +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_neglected_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.37\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected_soft.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_neglected_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected_mid.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_neglected_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected_stiff.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure ** Effect of support compliance on $L/F$ @@ -4590,13 +5074,9 @@ If a soft nano-hexapod is used, the support dynamics appears in the dynamics bet #+begin_src matlab :exports none :results none %% Effect of the support compliance on the transfer functions from F to L and from F to d -figure; freqs = logspace(0, 3, 1000); figure; -tiledlayout(1, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - -ax1 = nexttile(); hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_soft_a, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:)); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_soft_r, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:)); @@ -4606,11 +5086,17 @@ text(8, 3e-7, sprintf('Support\nDynamics'), 'horizontalalignment', 'center'); hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('"Soft" $\nu$-hexapod'); -ylabel('Magnitude [m/N]'); +xlabel('Frequency [Hz]'); ylabel('Magnitude [m/N]'); +xlim([freqs(1), freqs(end)]); +ylim([1e-9, 1e-4]); +#+end_src +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_soft.pdf', 'width', 450, 'height', 'normal'); +#+end_src -ax2 = nexttile(); +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_mid_a, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:)); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_mid_r, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:)); @@ -4618,10 +5104,17 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xlabel('Frequency [Hz]'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('"Mid" $\nu$-hexapod'); set(gca, 'YTickLabel',[]); +xlim([freqs(1), freqs(end)]); +ylim([1e-9, 1e-4]); +#+end_src -ax3 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_mid.pdf', 'width', 400, 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_stiff_a, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:), ... 'DisplayName', '$L^\prime/F$'); @@ -4632,40 +5125,56 @@ loglog(10.^(0.3*cos(0:0.01:2*pi)+log10(50)), ... text(50, 3e-8, 'No effect', 'horizontalalignment', 'center'); hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -set(gca, 'YTickLabel',[]); +xlabel('Frequency [Hz]'); set(gca, 'YTickLabel',[]); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('"Stiff" $\nu$-hexapod'); legend('location', 'northeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); - -linkaxes([ax1,ax2,ax3],'xy'); xlim([freqs(1), freqs(end)]); ylim([1e-9, 1e-4]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_stiff.pdf', 'width', 400, 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics #+caption: Effect of the support compliance on the transfer functions from $F$ to $L$ -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics.png]] +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.37\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_soft.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_mid.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_stiff.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure + +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +#+end_src ** Effect of support compliance on $d/F$ -When the motion to be controlled is the relative displacement $d$ between the granite and the nano-hexapod's top platform, the effect of the support compliance on the plant dynamics is opposite than what was previously observed. +When the motion to be controlled is the relative displacement $d$ between the granite and the nano-hexapod's top platform, the effect of the support compliance on the plant dynamics is opposite to what was previously observed. Indeed, using a "soft" nano-hexapod (i.e. with a suspension mode at lower frequency than the mode of the support) makes the dynamics less affected by the support dynamics (Figure ref:fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d, left). On the contrary, if a "stiff" nano-hexapod is used, the support dynamics appears in the plant dynamics (Figure ref:fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d, right). #+begin_src matlab :exports none :results none %% Effect of the support compliance on the transfer functions from F to L and from F to d -figure; freqs = logspace(0, 3, 1000); figure; -tiledlayout(1, 3, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); - -ax1 = nexttile(); hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_soft_a, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:)); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_soft, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:)); @@ -4675,11 +5184,17 @@ text(8, 3e-7, 'No effect', 'horizontalalignment', 'center'); hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('"Soft" $\nu$-hexapod'); -ylabel('Magnitude [m/N]'); +xlabel('Frequency [Hz]'); ylabel('Magnitude [m/N]'); +xlim([freqs(1), freqs(end)]); +ylim([1e-9, 1e-4]); +#+end_src +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_soft.pdf', 'width', 450, 'height', 'normal'); +#+end_src -ax2 = nexttile(); +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_mid_a, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:)); plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_mid, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:)); @@ -4687,10 +5202,17 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); xlabel('Frequency [Hz]'); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('"Mid" $\nu$-hexapod'); set(gca, 'YTickLabel',[]); +xlim([freqs(1), freqs(end)]); +ylim([1e-9, 1e-4]); +#+end_src -ax3 = nexttile(); +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_mid.pdf', 'width', 400, 'height', 'normal'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; hold on; plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_stiff_a, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:), ... 'DisplayName', '$L^\prime/F$'); @@ -4701,31 +5223,47 @@ loglog(10.^(0.4*cos(0:0.01:2*pi)+log10(50)), ... text(50, 2e-7, sprintf('Support\nDynamics'), 'horizontalalignment', 'center'); hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -set(gca, 'YTickLabel',[]); +xlabel('Frequency [Hz]'); set(gca, 'YTickLabel',[]); xticks([1e0, 1e1, 1e2]); -title('"Stiff" $\nu$-hexapod'); legend('location', 'northeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); - -linkaxes([ax1,ax2,ax3],'xy'); xlim([freqs(1), freqs(end)]); ylim([1e-9, 1e-4]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d.pdf', 'width', 'full', 'height', 'normal'); +exportFig('figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_stiff.pdf', 'width', 400, 'height', 'normal'); #+end_src #+name: fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d #+caption: Effect of the support compliance on the transfer functions from $F$ to $d$ -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d.png]] +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.37\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_soft.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_mid.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +#+attr_latex: :options {0.31\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_stiff.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure + ** Conclusion :PROPERTIES: :UNNUMBERED: t :END: -#+begin_important In order to study the impact of the support compliance on the plant dynamics, simple models shown in Figure ref:fig:uniaxial_support_compliance_models were used. Depending on the quantity to be controlled ($L$ or $d$ in Figure ref:fig:uniaxial_support_compliance_test_system) and on the relative location of $\omega_\nu$ (suspension mode of the nano-hexapod) and $\omega_\mu$ (modes of the support), the interaction between the support and the nano-hexapod dynamics can change drastically (observations made are summarized in Table ref:tab:uniaxial_effect_compliance). @@ -4733,7 +5271,6 @@ Depending on the quantity to be controlled ($L$ or $d$ in Figure ref:fig:uniaxia For the NASS, having the suspension mode of the nano-hexapod at lower frequencies than the suspension modes of the micro-station would make the plant less dependent on the micro-station dynamics, and therefore easier to control. Note that observations made in this section are also affected by the ratio between the support mass $m^{\prime}$ and the nano-hexapod mass $m$ (the effect is more pronounced when the ratio $m/m^{\prime}$ increases). -#+end_important #+name: tab:uniaxial_effect_compliance #+caption: Impact of the support dynamics on the plant dynamics @@ -4989,7 +5526,7 @@ G_vc_stiff_heavy = (ms*s^2 + cs*s + ks)/((mn*s^2 + cn*s + kn)*(ms*s^2 + cs*s + k #+begin_src matlab :exports none :results none %% Effect of the payload dynamics on the soft Nano-Hexapod. Light sample on the right, and heavy sample on the left figure; -tiledlayout(3, 2, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); ax1 = nexttile([2,1]); hold on; @@ -5000,24 +5537,6 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude [m/N]'); set(gca, 'XTickLabel',[]); ylim([1e-10, 1e-2]) -title('$k_n = 0.01\,N/\mu m$, $m_s = 1\,kg$'); - -ax2 = nexttile([2,1]); -hold on; -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_rigid_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', 'Rigid sample'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_stiff_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:), 'DisplayName', '$\omega_s = 200\,Hz$'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_soft_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:), 'DisplayName', '$\omega_s = 20\,Hz$'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(1/(mn*s^2), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0,0,0,0.5], 'DisplayName', '$\frac{1}{m_n s^2}$'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(1/((mn + ms)*s^2), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', [0,0,0,0.5], 'DisplayName', '$\frac{1}{(m_n + m_s) s^2}$'); -text(2.2, 3e-3, '$\omega_n = \sqrt{\frac{k_n}{m_n + m_s}}$', 'horizontalalignment', 'left'); -text(20, 1e-8, '$\omega_s = \sqrt{\frac{k_s}{m_s}}$', 'horizontalalignment', 'center'); -hold off; -set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); -title('$k_n = 0.01\,N/\mu m$, $m_s = 50\,kg$'); -ldg = legend('location', 'northeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); -ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; -ylim([1e-10, 1e-2]) ax1b = nexttile(); hold on; @@ -5031,6 +5550,34 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); +linkaxes([ax1,ax1b],'x'); +xlim([1, 1000]); +#+end_src + +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod_light.pdf', 'width', 'half', 'height', 'tall'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); + +ax2 = nexttile([2,1]); +hold on; +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_rigid_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', 'Rigid sample'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_stiff_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:), 'DisplayName', '$\omega_s = 200\,Hz$'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_vc_soft_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:), 'DisplayName', '$\omega_s = 20\,Hz$'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(1/(mn*s^2), freqs, 'Hz'))), '-', 'color', [0,0,0,0.5], 'DisplayName', '$\frac{1}{m_n s^2}$'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(1/((mn + ms)*s^2), freqs, 'Hz'))), '--', 'color', [0,0,0,0.5], 'DisplayName', '$\frac{1}{(m_n + m_s) s^2}$'); +text(2.2, 3e-3, '$\omega_n = \sqrt{\frac{k_n}{m_n + m_s}}$', 'horizontalalignment', 'left'); +text(20, 1e-8, '$\omega_s = \sqrt{\frac{k_s}{m_s}}$', 'horizontalalignment', 'center'); +hold off; +set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); +set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); +ldg = legend('location', 'northeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); +ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; +ylim([1e-10, 1e-2]) + ax2b = nexttile(); hold on; plot(freqs, 180/pi*unwrap(angle(squeeze(freqresp(G_vc_rigid_heavy, freqs, 'Hz')))), '-', 'color', colors(1,:)); @@ -5043,18 +5590,31 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); -linkaxes([ax1,ax1b],'x'); +linkaxes([ax2,ax2b],'x'); xlim([1, 1000]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod.pdf', 'width', 'full', 'height', 'tall'); +exportFig('figs/uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod_heavy.pdf', 'width', 'half', 'height', 'tall'); #+end_src -#+name: fig:uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod -#+caption: Effect of the payload dynamics on the soft Nano-Hexapod. Light sample on the right, and heavy sample on the left -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod.png]] +#+name: fig:uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod_heavy +#+caption: Effect of the payload dynamics on the soft Nano-Hexapod. Light sample (\subref{fig:uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod_light}), and heavy sample (\subref{fig:uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod_heavy}) +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod_light}$k_n = 0.01\,N/\mu m$, $m_s = 1\,kg$} +#+attr_latex: :options {0.49\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod_light.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod_heavy}$k_n = 0.01\,N/\mu m$, $m_s = 50\,kg$} +#+attr_latex: :options {0.49\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_payload_dynamics_soft_nano_hexapod_heavy.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure The same transfer functions are now compared when using a stiff nano-hexapod ($k_n = 100\,N/\mu m$) in Figure ref:fig:uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod. In that case, the sample's resonance $\omega_n$ is smaller than the nano-hexapod resonance $\omega_n$. @@ -5109,7 +5669,7 @@ G_pz_stiff_heavy = (ms*s^2 + cs*s + ks)/((mn*s^2 + cn*s + kn)*(ms*s^2 + cs*s + k #+begin_src matlab :exports none :results none %% Effect of the payload dynamics on the stiff Nano-Hexapod. Light sample on the right, and heavy sample on the left figure; -tiledlayout(3, 2, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); ax1 = nexttile([2,1]); hold on; @@ -5120,20 +5680,7 @@ hold off; set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); ylabel('Amplitude [m/N]'); set(gca, 'XTickLabel',[]); ylim([1e-10, 1e-2]) -title('$k_n = 100\,N/\mu m$, $m_s = 1\,kg$'); - -ax2 = nexttile([2,1]); -hold on; -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_rigid_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', 'Rigid sample'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_stiff_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:), 'DisplayName', 'Stiff sample: $\omega_s = 200\,Hz$'); -plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_soft_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:), 'DisplayName', 'Soft sample: $\omega_s = 20\,Hz$'); -hold off; -set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); -set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); -title('$k_n = 100\,N/\mu m$, $m_s = 50\,kg$'); -ylim([1e-10, 1e-2]) -ldg = legend('location', 'northeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); -ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; +% title('$k_n = 100\,N/\mu m$, $m_s = 1\,kg$'); ax1b = nexttile(); hold on; @@ -5147,6 +5694,31 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); +linkaxes([ax1,ax1b],'x'); +xlim([1, 1000]); +#+end_src + +#+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace +exportFig('figs/uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod_light.pdf', 'width', 'half', 'height', 'tall'); +#+end_src + +#+begin_src matlab :exports none :results none +figure; +tiledlayout(3, 1, 'TileSpacing', 'Compact', 'Padding', 'None'); + +ax2 = nexttile([2,1]); +hold on; +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_rigid_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(1,:), 'DisplayName', 'Rigid sample'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_stiff_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(2,:), 'DisplayName', 'Stiff sample: $\omega_s = 200\,Hz$'); +plot(freqs, abs(squeeze(freqresp(G_pz_soft_heavy, freqs, 'Hz'))), '-', 'color', colors(3,:), 'DisplayName', 'Soft sample: $\omega_s = 20\,Hz$'); +hold off; +set(gca, 'XScale', 'log'); set(gca, 'YScale', 'log'); +set(gca, 'XTickLabel',[]); set(gca, 'YTickLabel',[]); +% title('$k_n = 100\,N/\mu m$, $m_s = 50\,kg$'); +ylim([1e-10, 1e-2]) +ldg = legend('location', 'northeast', 'FontSize', 8, 'NumColumns', 1); +ldg.ItemTokenSize = [20, 1]; + ax2b = nexttile(); hold on; plot(freqs, 180/pi*unwrap(angle(squeeze(freqresp(G_pz_rigid_heavy, freqs, 'Hz')))), '-', 'color', colors(1,:)); @@ -5159,21 +5731,32 @@ xticks([1e0, 1e1, 1e2]); yticks(-360:90:360); ylim([-200, 20]); -linkaxes([ax1,ax1b],'x'); +linkaxes([ax2,ax2b],'x'); xlim([1, 1000]); #+end_src #+begin_src matlab :tangle no :exports results :results file replace -exportFig('figs/uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod.pdf', 'width', 'full', 'height', 'tall'); +exportFig('figs/uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod_heavy.pdf', 'width', 'half', 'height', 'tall'); #+end_src -#+name: fig:uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod -#+caption: Effect of the payload dynamics on the stiff Nano-Hexapod. Light sample on the right, and heavy sample on the left -#+RESULTS: -[[file:figs/uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod.png]] +#+name: fig:uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod_heavy +#+caption: Effect of the payload dynamics on the stiff Nano-Hexapod. Light sample (\subref{fig:uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod_light}), and heavy sample (\subref{fig:uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod_heavy}) +#+attr_latex: :options [htbp] +#+begin_figure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod_light}$k_n = 100\,N/\mu m$, $m_s = 1\,kg$} +#+attr_latex: :options {0.49\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod_light.png]] +#+end_subfigure +#+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod_heavy}$k_n = 100\,N/\mu m$, $m_s = 50\,kg$} +#+attr_latex: :options {0.49\textwidth} +#+begin_subfigure +#+attr_latex: :scale 1 +[[file:figs/uniaxial_payload_dynamics_stiff_nano_hexapod_heavy.png]] +#+end_subfigure +#+end_figure - -#+begin_important The impact of the sample dynamics on the plant varies with the sample mass and the relative resonance frequency of the sample $\omega_s$ and of the nano-hexapod $\omega_n$. The larger the sample mass, the larger the effect (i.e. change of high frequency gain, appearance of additional resonances and anti-resonances). A zero/pole pattern is observed if $\omega_s > \omega_n$ and a pole/zero pattern if $\omega_s > \omega_n$. @@ -5182,7 +5765,6 @@ Such additional dynamics can induce stability issues depending on their position The general conclusion is that the stiffer the nano-hexapod, the less it is impacted by the payload's dynamics, which would make the feedback controller more robust to a change of payload. This is why high-bandwidth soft positioning stages are usually restricted to constant and calibrated payloads (CD-player, lithography machines, isolation system for gravitational wave detectors, ...), while stiff positioning systems can more easily accept various payloads. -#+end_important ** Impact on the positioning stability <> @@ -5334,7 +5916,7 @@ This is the same model that was used in Section ref:sec:uniaxial_position_contro #+end_src #+name: fig:uniaxial_sample_flexibility_control -#+caption: Uniaxial model considering a flexibility between the nano-hexapod top platform and the sample. In that case the measured and controlled distance $d$ is different from the distance $y$ that is wish to be controlled +#+caption: Uniaxial model considering a flexibility between the nano-hexapod top platform and the sample. In that case the measured and controlled distance $d$ is different from the distance $y$ that is the real performance index #+RESULTS: [[file:figs/uniaxial_sample_flexibility_control.png]] @@ -5344,7 +5926,7 @@ Thanks to the collocation between the nano-hexapod and the force sensor used for The High Authority Controllers used in Section ref:sec:uniaxial_position_control are then implemented on the damped plants. The obtained closed-loop systems are stable, indicating good robustness. -Finally, closed-loop noise budgeting is computed for the obtained the closed-loop system and the cumulative amplitude spectrum of $d$ and $y$ are shown in Figure ref:fig:uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_y. +Finally, closed-loop noise budgeting was computed for the obtained the closed-loop system and the cumulative amplitude spectrum of $d$ and $y$ are shown in Figure ref:fig:uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_y. The cumulative amplitude spectrum of the measured distance $d$ (Figure ref:fig:uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_d) shows that the added flexibility at the sample location have very little effect on the control performance. However, the cumulative amplitude spectrum of the distance $y$ (Figure ref:fig:uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_y) shows that the stability of $y$ is degraded when the sample flexibility is considered and is degraded as $\omega_s$ is lowered. @@ -5582,6 +6164,8 @@ exportFig('figs/uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_y.pdf', 'width', 'full' #+attr_latex: :scale 1 [[file:figs/uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_d.png]] #+end_subfigure + +\bigskip #+attr_latex: :caption \subcaption{\label{fig:uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_y}Cumulative Amplitude Spectrum of $y$} #+attr_latex: :options {0.95\textwidth} #+begin_subfigure @@ -5595,7 +6179,6 @@ exportFig('figs/uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_y.pdf', 'width', 'full' :UNNUMBERED: t :END: -#+begin_important Payload dynamics is usually a major concern when designing a positioning system. For the NASS, the sample may present internal dynamics and limited fixation stiffness to the nano-hexapod platform. On top of that, its mass can vary from 1kg up to 50kg which is a first challenge. @@ -5606,7 +6189,6 @@ However, it was shown that this issue is less critical if a stiff nano-hexapod i Having some flexibility between the measurement point and the point of interest (i.e. the sample point to be position on the x-ray) also degrades the position stability as shown in Section ref:ssec:uniaxial_payload_dynamics_effect_stability. It will be therefore important to take special care when designing sampling environments, especially is a soft nano-hexapod is used. -#+end_important * Conclusion <> diff --git a/nass-uniaxial-model.pdf b/nass-uniaxial-model.pdf index 349ecb8..06693ea 100644 Binary files a/nass-uniaxial-model.pdf and b/nass-uniaxial-model.pdf differ diff --git a/nass-uniaxial-model.tex b/nass-uniaxial-model.tex index 2b5cfe1..46beb8b 100644 --- a/nass-uniaxial-model.tex +++ b/nass-uniaxial-model.tex @@ -1,4 +1,4 @@ -% Created 2024-04-02 Tue 19:16 +% Created 2024-04-11 Thu 18:17 % Intended LaTeX compiler: pdflatex \documentclass[a4paper, 10pt, DIV=12, parskip=full, bibliography=totoc]{scrreprt} @@ -12,7 +12,7 @@ pdftitle={Nano Active Stabilization System - Uniaxial Model}, pdfkeywords={}, pdfsubject={}, - pdfcreator={Emacs 29.3 (Org mode 9.7)}, + pdfcreator={Emacs 29.3 (Org mode 9.6)}, pdflang={English}} \usepackage{biblatex} @@ -22,8 +22,9 @@ \tableofcontents \clearpage + In this report, a uniaxial model of the Nano Active Stabilization System (NASS) is developed and used to have a first idea of the challenges involved in this complex system. -Note that in this document, only the vertical direction is considered (which is the most stiff), but other directions were considered as well and yields similar conclusions. +Note that in this study, only the vertical direction is considered (which is the most stiff), but other directions were considered as well and yields to similar conclusions. The model is schematically shown in Figure \ref{fig:uniaxial_overview_model_sections} where the colors are representing the studied parts in different sections. In order to have a relevant model, the micro-station dynamics is first identified and its model is tuned to match the measurements (Section \ref{sec:micro_station_model}). @@ -31,8 +32,8 @@ Then, a model of the nano-hexapod is added on top of the micro-station. With added sample and sensors, this gives a uniaxial dynamical model of the NASS that will be used for further analysis (Section \ref{sec:nano_station_model}). The disturbances affecting the position stability are identified experimentally (Section \ref{sec:uniaxial_disturbances}) and included in the model for dynamical noise budgeting (Section \ref{sec:uniaxial_noise_budgeting}). -In all the following analysis, there nano-hexapod stiffnesses are considered to better understand the trade-offs and to find the most adequate nano-hexapod design. -Three sample masses are also considered to verify the robustness of the applied control strategies to a change of sample. +In all the following analysis, the nano-hexapod stiffnesses are considered to better understand the trade-offs and to find the most adequate nano-hexapod design. +Three sample masses are also considered to verify the robustness of the applied control strategies with respect to a change of sample. Three active damping techniques are then applied on the nano-hexapod. This helps to reduce the effect of disturbances as well as render the system easier to control afterwards (Section \ref{sec:uniaxial_active_damping}). @@ -43,33 +44,15 @@ Two key effects that may limit that positioning performances are then considered Conclusion remarks are given in Section \ref{sec:uniaxial_conclusion}. -\begin{table}[htbp] -\caption{\label{tab:uniaxial_section_matlab_code}Report sections and corresponding Matlab files} -\centering -\begin{tabularx}{0.6\linewidth}{lX} -\toprule -\textbf{Sections} & \textbf{Matlab File}\\ -\midrule -Section \ref{sec:micro_station_model} & \texttt{uniaxial\_1\_micro\_station\_model.m}\\ -Section \ref{sec:nano_station_model} & \texttt{uniaxial\_2\_nano\_hexapod\_model.m}\\ -Section \ref{sec:uniaxial_disturbances} & \texttt{uniaxial\_3\_disturbances.m}\\ -Section \ref{sec:uniaxial_noise_budgeting} & \texttt{uniaxial\_4\_dynamic\_noise\_budget.m}\\ -Section \ref{sec:uniaxial_active_damping} & \texttt{uniaxial\_5\_active\_damping.m}\\ -Section \ref{sec:uniaxial_position_control} & \texttt{uniaxial\_6\_hac\_lac.m}\\ -Section \ref{sec:uniaxial_support_compliance} & \texttt{uniaxial\_7\_support\_compliance}\\ -Section \ref{sec:uniaxial_payload_dynamics} & \texttt{uniaxial\_8\_payload\_dynamics}\\ -\bottomrule -\end{tabularx} -\end{table} - \begin{figure}[htbp] \centering \includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_overview_model_sections.png} \caption{\label{fig:uniaxial_overview_model_sections}Uniaxial Micro-Station model in blue (Section \ref{sec:micro_station_model}), Nano-Hexapod models in red (Section \ref{sec:nano_station_model}), Disturbances in yellow (Section \ref{sec:uniaxial_disturbances}), Active Damping in green (Section \ref{sec:uniaxial_active_damping}), Position control in purple (Section \ref{sec:uniaxial_position_control}) and Sample dynamics in cyan (Section \ref{sec:uniaxial_payload_dynamics})} \end{figure} + \chapter{Micro Station Model} \label{sec:micro_station_model} -In this section, a uni-axial model of the micro-station is tuned in order to match measurements made on the micro-station +In this section, a uni-axial model of the micro-station is tuned in order to match measurements made on the micro-station. The measurement setup is shown in Figure \ref{fig:uniaxial_ustation_first_meas_dynamics} where several geophones are fixed to the micro-station and an instrumented hammer is used to inject forces on different stages of the micro-station. From the measured frequency response functions (FRF), the model can be tuned to approximate the uniaxial dynamics of the micro-station. @@ -111,6 +94,7 @@ From the forces applied by the instrumented hammer and the responses of the geop \end{figure} Due to the bad coherence at low frequency, the frequency response functions will only be shown between 20 and 200Hz (solid lines in Figure \ref{fig:uniaxial_comp_frf_meas_model}). + \section{Uniaxial Model} The uni-axial model of the micro-station is shown in Figure \ref{fig:uniaxial_model_micro_station}, with: \begin{itemize} @@ -139,6 +123,7 @@ More accurate models will be used later on. \includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_comp_frf_meas_model.png} \caption{\label{fig:uniaxial_comp_frf_meas_model}Comparison of the measured FRF and identified ones from the uni-axial model} \end{figure} + \chapter{Nano-Hexapod Model} \label{sec:nano_station_model} A model of the nano-hexapod and sample is now added on top of the uni-axial model of the micro-station (Figure \ref{fig:uniaxial_model_micro_station-nass}). @@ -169,18 +154,33 @@ The parameters for the nano-hexapod and sample are: \end{itemize} As a first example, let's choose a nano-hexapod stiffness of \(10\,N/\mu m\) and a sample mass of 10kg. + \section{Obtained Dynamic Response} The sensitivity to disturbances (i.e. \(x_f\), \(f_t\) and \(f_s\)) are shown in Figure \ref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params}. The \emph{plant} (i.e. the transfer function from actuator force \(f\) to measured displacement \(d\)) is shown in Figure \ref{fig:uniaxial_plant_first_params}. -\begin{important} For further analysis, 9 configurations are considered: three nano-hexapod stiffnesses (\(k_n = 0.01\,N/\mu m\), \(k_n = 1\,N/\mu m\) and \(k_n = 100\,N/\mu m\)) combined with three sample's masses (\(m_s = 1\,kg\), \(m_s = 25\,kg\) and \(m_s = 50\,kg\)). -\end{important} \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params}Sensitivity of the relative motion \(d\) to disturbances: \(f_s\) the direct forces applied on the sample, \(f_t\) disturbances from the micro-station stages and \(x_f\) the floor motion (from left to right)} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params_fs.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_fs}Direct forces} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params_ft.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_ft}$\mu\text{-station}$ disturbances} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_first_params_xf.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_xf}Floor motion} +\end{subfigure} +\caption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params}Sensitivity of the relative motion \(d\) to disturbances: \(f_s\) the direct forces applied on the sample (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_fs}), \(f_t\) disturbances from the micro-station stages (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_ft}) and \(x_f\) the floor motion (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_first_params_fs})} \end{figure} \begin{figure}[htbp] @@ -190,7 +190,7 @@ For further analysis, 9 configurations are considered: three nano-hexapod stiffn \end{figure} \chapter{Disturbance Identification} \label{sec:uniaxial_disturbances} -In order to measure disturbances, two geophones are used, on located on the floor and on on the micro-hexapod's top platform (see Figure \ref{fig:uniaxial_ustation_meas_disturbances}). +In order to measure disturbances, two geophones are used, one located on the floor and another one on the micro-hexapod's top platform (see Figure \ref{fig:uniaxial_ustation_meas_disturbances}). The geophone on the floor is used to measured the floor motion \(x_f\) while the geophone on the micro-hexapod is used to measure vibrations introduced by scanning of the \(T_y\) stage and \(R_z\) stage. @@ -206,12 +206,10 @@ The geophone on the floor is used to measured the floor motion \(x_f\) while the \caption{\label{fig:uniaxial_ustation_dynamical_id_setup}Two geophones are used to measure the micro-station vibrations induced by the scanning of the \(T_y\) and \(R_z\) stages} \end{figure} \section{Ground Motion} -The geophone fixed to the floor to measure the floor motion. - The voltage generated by each geophone is amplified using a voltage amplifier (gain of 60dB) before going to the ADC. The sensitivity of the geophone as well as the gain of the voltage amplifier are then taken into account to reconstruct the floor displacement. -The PSD \(S_{V_f}\) of the measured voltage \(V_f\) is computed. -The PSD of the corresponding displacement can be computed as follows: +The power spectral density \(S_{V_f}\) of the measured voltage \(V_f\) is computed. +The power spectral density of the corresponding displacement can be computed as follows: \begin{equation} S_{x_f}(\omega) = \frac{S_{V_f}(\omega)}{|S_{\text{geo}}(j\omega)| \cdot G_{\text{amp}} \cdot \omega} \end{equation} @@ -229,6 +227,7 @@ The amplitude spectral density \(\Gamma_{x_f}\) of the measured displacement \(x \includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_asd_floor_motion_id31.png} \caption{\label{fig:uniaxial_asd_floor_motion_id31}Amplitude Spectral Density of the measured Floor motion on ID31} \end{figure} + \section{Stage Vibration} During Spindle rotation (here at 6rpm), the granite velocity and micro-hexapod's top platform velocity are measured with the geophones. @@ -265,6 +264,7 @@ The vibrations induced by the \(T_y\) stage are not considered here because: \item the induced vibrations have less amplitude than the vibrations induced by the \(R_z\) stage \item it can be scanned at lower velocities if the induced vibrations are an issue \end{itemize} + \chapter{Open-Loop Dynamic Noise Budgeting} \label{sec:uniaxial_noise_budgeting} Now that we have a model of the NASS and an estimation of the power spectral density of the disturbances, it is possible to perform an \emph{open-loop dynamic noise budgeting}. @@ -278,22 +278,37 @@ This is done for \textbf{two extreme sample masses} \(m_s = 1\,\text{kg}\) and \ \item \(k_n = 100\,N/\mu m\) that could represent a stiff piezoelectric stack actuator \end{itemize} -The obtained sensitivity to disturbances for the three nano-hexapod stiffnesses are shown in Figure \ref{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses} for the light sample (same conclusions can be drawn with the heavy one). +The obtained sensitivity to disturbances for the three nano-hexapod stiffnesses are shown in Figure \ref{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses} for the sample mass \(m_s = 1\,\text{kg}\) (same conclusions can be drawn with \(m_s = 50\,\text{kg}\)). -\begin{important} From Figure \ref{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses}, the following can be concluded for the \textbf{soft nano-hexapod}: \begin{itemize} \item It is more sensitive to forces applied on the sample (cable forces for instance), which is expected due to the lower stiffness \item Between the suspension mode of the nano-hexapod (here at 5Hz) and the first mode of the micro-station (here at 70Hz), the disturbances induced by the stage vibrations are filtered out. \item Above the suspension mode of the nano-hexapod, the sample's motion is unaffected by the floor motion, and therefore the sensitivity to floor motion is close to \(1\). \end{itemize} -\end{important} \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses}Sensitivity to disturbances for three different nano-hexpod stiffnesses} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs}Direct forces} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft}$\mu\text{-station}$ disturbances} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_xf.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_xf}Floor motion} +\end{subfigure} +\caption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses}Sensitivity of \(d\) to disturbances for three different nano-hexpod stiffnesses. \(f_s\) the direct forces applied on the sample (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs}), \(f_t\) disturbances from the micro-station stages (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_ft}) and \(x_f\) the floor motion (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses_fs})} \end{figure} + \section{Open-Loop Dynamic Noise Budgeting} Now, the power spectral density of the disturbances is taken into account to estimate the residual motion \(d\) in each case. @@ -304,7 +319,7 @@ It is shown that the effect of the floor motion is much less than the stage vibr \begin{figure}[htbp] \centering \includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_cas_d_disturbances_stiffnesses.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_cas_d_disturbances_stiffnesses}Cumulative Amplitude Spectrum of the relative motion d, due to both the floor motion and the stage vibrations (light sample)} +\caption{\label{fig:uniaxial_cas_d_disturbances_stiffnesses}Cumulative Amplitude Spectrum of the relative motion d, due to both the floor motion and the stage vibrations (\(m_s = 1\,\text{kg}\))} \end{figure} The total cumulative amplitude spectrum for the three nano-hexapod stiffnesses and for the two sample's masses are shown in Figure \ref{fig:uniaxial_cas_d_disturbances_payload_masses}. @@ -315,8 +330,8 @@ The conclusion is that the sample's mass has little effect on the cumulative amp \includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_cas_d_disturbances_payload_masses.png} \caption{\label{fig:uniaxial_cas_d_disturbances_payload_masses}Cumulative Amplitude Spectrum of the relative motion d due to all disturbances, for two sample masses} \end{figure} + \section*{Conclusion} -\begin{important} In order to have a closed-loop residual vibration \(d \approx 20\,nm\text{ rms}\), if a simple feedback controller is used, the required closed-loop bandwidth would be: \begin{itemize} \item \(\approx 10\,\text{Hz}\) for the soft nano-hexapod (\(k_n = 0.01\,N/\mu m\)) @@ -327,7 +342,7 @@ In order to have a closed-loop residual vibration \(d \approx 20\,nm\text{ rms}\ This can be explained by the fact that for frequencies larger than the suspension mode of the nano-hexapod, the stage vibrations are filtered out (see Figure \ref{fig:uniaxial_sensitivity_disturbances_nano_hexapod_stiffnesses}). This gives a first advantage to having a soft nano-hexapod. -\end{important} + \chapter{Active Damping} \label{sec:uniaxial_active_damping} In this section, three active damping are applied on the nano-hexapod (see Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_strategies}): Integral Force Feedback (IFF) \cite{preumont91_activ}, Relative Damping Control (RDC) \cite[Chapter 7.2]{preumont18_vibrat_contr_activ_struc_fourt_edition} and Direct Velocity Feedback (DVF) \cite{karnopp74_vibrat_contr_using_semi_activ_force_gener,serrand00_multic_feedb_contr_isolat_base_excit_vibrat,preumont02_force_feedb_versus_accel_feedb}. @@ -342,61 +357,110 @@ These active damping techniques are compared in terms of: \end{itemize} \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_strategies.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_active_damping_strategies}Three active damping strategies: Integral Force Feedback (IFF) using a force sensor, Relative Damping Control (RDC) using a relative displacement sensor, and Direct Velocity Feedback (DVF) using a geophone} +\begin{subfigure}{0.37\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_strategies_iff.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_strategies_iff}IFF} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_strategies_rdc.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_strategies_rdc}RDC} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_strategies_dvf.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_strategies_dvf}DVF} +\end{subfigure} +\caption{\label{fig:uniaxial_active_damping_strategies}Three active damping strategies. Integral Force Feedback (\subref{fig:uniaxial_active_damping_strategies_iff}) using a force sensor, Relative Damping Control (\subref{fig:uniaxial_active_damping_strategies_rdc}) using a relative displacement sensor, and Direct Velocity Feedback (\subref{fig:uniaxial_active_damping_strategies_dvf}) using a geophone} \end{figure} \section{Active Damping Strategies} \label{ssec:uniaxial_active_damping_strategies} \paragraph{Integral Force Feedback (IFF)} -The Integral Force Feedback strategy consists of using a force sensor in series with the actuator (see Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv}, left). +The Integral Force Feedback strategy consists of using a force sensor in series with the actuator (see Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_iff_schematic}). The control strategy consists of integrating the measured force and feeding it back to the actuator: \begin{equation} \boxed{K_{\text{IFF}}(s) = \frac{g}{s}} \end{equation} -The mechanical equivalent of this strategy is to add a dashpot in series with the actuator stiffness with a damping coefficient equal to the stiffness of the actuator divided by the controller gain \(k/g\) (see Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv}, right). +The mechanical equivalent of this strategy is to add a dashpot in series with the actuator stiffness with a damping coefficient equal to the stiffness of the actuator divided by the controller gain \(k/g\) (see Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv}). \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_iff_equiv.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv}Integral Force Feedback is equivalent as to add a damper in series with the stiffness (the initial damping is here neglected for simplicity)} +\begin{subfigure}{0.49\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_iff_schematic.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_iff_schematic}Integral Force Feedback} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.49\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_iff_equiv.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv}Equivalent mechanical representation} +\end{subfigure} +\caption{\label{fig:uniaxial_active_damping_iff}Integral Force Feedback (\subref{fig:uniaxial_active_damping_iff_schematic}) is equivalent as to add a damper in series with the stiffness (\subref{fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv})} \end{figure} + \paragraph{Relative Damping Control (RDC)} -For the Relative Damping Control strategy, a relative motion sensor that measures the motion of the actuator is used (see Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv}, left). +For the Relative Damping Control strategy, a relative motion sensor that measures the motion of the actuator is used (see Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_rdc_schematic}). The derivative of this relative motion is used for the feedback signal: \begin{equation} \boxed{K_{\text{RDC}}(s) = - g \cdot s} \end{equation} -The mechanical equivalent is to add a dashpot in parallel with the actuator with a damping coefficient equal to the controller gain \(g\) (see Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv}, right). +The mechanical equivalent is to add a dashpot in parallel with the actuator with a damping coefficient equal to the controller gain \(g\) (see Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv}). \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_rdc_equiv.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv}Relative Damping Control is equivalent as adding a damper in parallel with the actuator/relative motion sensor} +\begin{subfigure}{0.49\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_rdc_schematic.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_rdc_schematic}Relative motion control} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.49\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_rdc_equiv.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv}Equivalent mechanical representation} +\end{subfigure} +\caption{\label{fig:uniaxial_active_damping_rdc}Relative Damping Control (\subref{fig:uniaxial_active_damping_rdc_schematic}) is equivalent as to add a damper in parallel with the actuator/relative motion sensor (\subref{fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv})} \end{figure} + \paragraph{Direct Velocity Feedback (DVF)} -Finally, the Direct Velocity Feedback strategy consists of using an inertial sensor (usually a geophone), that measured the ``absolute'' velocity of the body fixed on top of the actuator (se Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv}, left). +Finally, the Direct Velocity Feedback strategy consists of using an inertial sensor (usually a geophone), that measured the ``absolute'' velocity of the body fixed on top of the actuator (se Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_dvf_schematic}). The measured velocity is then fed back to the actuator: \begin{equation} \boxed{K_{\text{DVF}}(s) = - g} \end{equation} -This is equivalent as to fix a dashpot (with a damping coefficient equal to the controller gain \(g\)) between the body (one which the inertial sensor is fixed) and an inertial reference frame (see Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv}, right). +This is equivalent as to fix a dashpot (with a damping coefficient equal to the controller gain \(g\)) between the body (one which the inertial sensor is fixed) and an inertial reference frame (see Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv}). This is usually refers to as ``\emph{sky hook damper}''. \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_dvf_equiv.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv}Direct velocity Feedback using an inertial sensor is equivalent to a ``sky hook damper''} +\begin{subfigure}{0.49\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_dvf_schematic.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_dvf_schematic}Direct velocity feedback} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.49\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_dvf_equiv.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv}Equivalent mechanical representation} +\end{subfigure} +\caption{\label{fig:uniaxial_active_damping_rdc}Direct velocity Feedback (\subref{fig:uniaxial_active_damping_dvf_schematic}) is equivalent to a ``sky hook damper'' (\subref{fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv})} \end{figure} + \section{Plant Dynamics for Active Damping} The plant dynamics for all three active damping techniques are shown in Figure \ref{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques}. -All have \textbf{alternating poles and zeros} meaning that the phase do not vary by more than \(\pm 90\,\text{deg}\) which makes the design of a robust controller very easy. +All have \textbf{alternating poles and zeros} meaning that the phase do not vary by more than \(180\,\text{deg}\) which makes the design of a robust controller very easy. The reason all three plants in Figure \ref{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques} have alternating poles and zeros is because the three sensors are all collocated with the actuator \cite[Chapter 7]{preumont18_vibrat_contr_activ_struc_fourt_edition}. When the nano-hexapod's suspension modes are at lower frequencies than the resonances of the micro-station (blue and red curves in Figure \ref{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques}), the resonances of the micro-stations have little impact on the IFF and DVF transfer functions. @@ -405,10 +469,27 @@ For the stiff nano-hexapod (yellow curves), the micro-station dynamics can be se Therefore, it is expected that the micro-station dynamics might impact the achievable damping if a stiff nano-hexapod is used. \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques}Plant dynamics for the three active damping techniques (IFF: right, RDC: middle, DVF: left), for three nano-hexapod stiffnesses (\(k_n = 0.01\,N/\mu m\) in blue, \(k_n = 1\,N/\mu m\) in red and \(k_n = 100\,N/\mu m\) in yellow) and three sample's masses (\(m_s = 1\,kg\): solid curves, \(m_s = 25\,kg\): dot-dashed curves, and \(m_s = 50\,kg\): dashed curves).} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,width=0.99\linewidth]{figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques_iff.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_iff}IFF} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,width=0.99\linewidth]{figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques_rdc.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_rdc}RDC} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,width=0.99\linewidth]{figs/uniaxial_plant_active_damping_techniques_dvf.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_dvf}DVF} +\end{subfigure} +\caption{\label{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques}Plant dynamics for the three active damping techniques (IFF: \subref{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_iff}, RDC: \subref{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_rdc}, DVF: \subref{fig:uniaxial_plant_active_damping_techniques_dvf}), for three nano-hexapod stiffnesses (\(k_n = 0.01\,N/\mu m\) in blue, \(k_n = 1\,N/\mu m\) in red and \(k_n = 100\,N/\mu m\) in yellow) and three sample's masses (\(m_s = 1\,kg\): solid curves, \(m_s = 25\,kg\): dot-dashed curves, and \(m_s = 50\,kg\): dashed curves).} \end{figure} + \section{Achievable Damping - Root Locus} \label{ssec:uniaxial_active_damping_achievable_damping} The Root Locus are computed for the three nano-hexapod stiffnesses and for the three active damping techniques. @@ -418,16 +499,32 @@ All three active damping approach can lead to \textbf{critical damping} of the n There is even some damping authority on micro-station modes in the following cases: \begin{description} -\item[{IFF with a stiff nano-hexapod (Figure \ref{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques}, right)}] This can be understood from the mechanical equivalent of IFF shown in Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv} (right) considering an high stiffness \(k\). +\item[{IFF with a stiff nano-hexapod (Figure \ref{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_stiff})}] This can be understood from the mechanical equivalent of IFF shown in Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_iff_equiv} considering an high stiffness \(k\). The micro-station top platform is connected to an inertial mass (the nano-hexapod) through a damper, which damps the micro-station suspension suspension mode. -\item[{DVF with a stiff nano-hexapod (Figure \ref{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques}, right)}] In that case, the ``sky hook damper'' (see mechanical equivalent of IFF in Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv}, right) is connected to the micro-station top platform through the stiff nano-hexapod. +\item[{DVF with a stiff nano-hexapod (Figure \ref{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_stiff})}] In that case, the ``sky hook damper'' (see mechanical equivalent of DVF in Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_dvf_equiv}) is connected to the micro-station top platform through the stiff nano-hexapod. \item[{RDC with a soft nano-hexapod (Figure \ref{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_micro_station_mode})}] At the frequency of the micro-station mode, the nano-hexapod top mass is behaving as an inertial reference as the suspension mode of the soft nano-hexapod is at much lower frequency. -The micro-station and the nano-hexapod masses are connected through a large damper induced by RDC (see mechanical equivalent in Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv}, right) which allows some damping of the micro-station. +The micro-station and the nano-hexapod masses are connected through a large damper induced by RDC (see mechanical equivalent in Figure \ref{fig:uniaxial_active_damping_rdc_equiv}) which allows some damping of the micro-station. \end{description} \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques.png} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques_soft.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques_mid.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques_stiff.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +\end{subfigure} \caption{\label{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques}Root Loci for the three active damping techniques (IFF in blue, RDC in red and DVF in yellow). This is shown for three nano-hexapod stiffnesses. The Root Loci are zoomed on the suspension mode of the nano-hexapod.} \end{figure} @@ -436,26 +533,42 @@ The micro-station and the nano-hexapod masses are connected through a large damp \includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_root_locus_damping_techniques_micro_station_mode.png} \caption{\label{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques_micro_station_mode}Root Locus for the three damping techniques applied with the soft nano-hexapod. It is shown that the RDC active damping technique has some authority on one mode of the micro-station. This mode corresponds to the suspension mode of the micro-hexapod.} \end{figure} -\section{Change of sensitivity to disturbances} + +\section{Sensitivity to disturbances} \label{ssec:uniaxial_active_damping_sensitivity_disturbances} The sensitivity to disturbances (direct forces \(f_s\), stage vibrations \(f_t\) and floor motion \(x_f\)) for all three active damping techniques are compared in Figure \ref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping}. The comparison is done with the nano-hexapod having a stiffness \(k_n = 1\,N/\mu m\). -\begin{important} Conclusions from Figure \ref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping} are: \begin{itemize} \item IFF degrades the sensitivity to direct forces on the sample (i.e. the compliance) below the resonance of the nano-hexapod \item RDC degrades the sensitivity to stage vibrations around the nano-hexapod's resonance as compared to the other two methods \item both IFF and DVF degrades the sensitivity to floor motion below the resonance of the nano-hexapod \end{itemize} -\end{important} \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping}Change of sensitivity to disturbance with all three active damping strategies} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_fs.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_fs}Direct forces} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_ft.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_ft}$\mu\text{-station}$ disturbances} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_xf.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_xf}Floor motion} +\end{subfigure} +\caption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping}Change of sensitivity to disturbance with all three active damping strategies. \(f_s\) the direct forces applied on the sample (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_fs}), \(f_t\) disturbances from the micro-station stages (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_ft}) and \(x_f\) the floor motion (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_active_damping_fs})} \end{figure} + \section{Noise Budgeting after Active Damping} \label{ssec:uniaxial_active_damping_noise_budget} Cumulative Amplitude Spectrum of the distance \(d\) with all three active damping techniques are compared in Figure \ref{fig:uniaxial_cas_active_damping}. @@ -464,10 +577,27 @@ All three active damping methods are giving similar results (except the RDC whic Compared to the open-loop case, the active damping helps to lower the vibrations induced by the nano-hexapod resonance. \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_cas_active_damping.png} +\begin{subfigure}{0.37\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_cas_active_damping_soft.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_active_damping_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_cas_active_damping_mid.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_active_damping_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_cas_active_damping_stiff.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_active_damping_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +\end{subfigure} \caption{\label{fig:uniaxial_cas_active_damping}Comparison of the cumulative amplitude spectrum (CAS) of the distance \(d\) for all three active damping techniques (OL in black, IFF in blue, RDC in red and DVF in yellow).} \end{figure} + \section{Obtained Closed Loop Response} The transfer functions from the plant input \(f\) to the relative displacement \(d\) while the active damping is implemented are shown in Figure \ref{fig:uniaxial_damped_plant_three_active_damping_techniques}. All three active damping techniques yield similar damped plants. @@ -479,11 +609,29 @@ All three active damping techniques yield similar damped plants. \end{figure} The damped plants are shown in Figure \ref{fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass} for all three techniques, with the three considered nano-hexapod stiffnesses and sample's masses. + \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass.png} +\begin{subfigure}{0.37\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_iff.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_iff}Integral Force Feedback} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_rdc.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_rdc}Relative Motion Control} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_dvf.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass_dvf}Direct Velocity Feedback} +\end{subfigure} \caption{\label{fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass}Damped plant \(d/f\) - Robustness to change of sample's mass for all three active damping techniques. Grey curves are the open-loop (i.e. undamped) plants.} \end{figure} + \section{Robustness to change of payload's mass} \label{ssec:uniaxial_active_damping_robustness} @@ -493,22 +641,36 @@ The closed-loop poles are shown by the squares for a specific gain. We can see that having heavier samples yields larger damping for IFF and smaller damping for RDC and DVF. \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus.png} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_iff.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_iff}Integral Force Feedback} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_rdc.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_rdc}Relative Motion Control} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_dvf.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus_dvf}Direct Velocity Feedback} +\end{subfigure} \caption{\label{fig:uniaxial_active_damping_robustness_mass_root_locus}Active Damping Robustness to change of sample's mass - Root Locus for all three damping techniques with 3 different sample's masses} \end{figure} + \section*{Conclusion} -\begin{important} Conclusions for Active Damping: \begin{itemize} \item All three active damping techniques yields good damping (Figure \ref{fig:uniaxial_root_locus_damping_techniques}) and similar remaining vibrations (Figure \ref{fig:uniaxial_cas_active_damping}) \item The obtained damped plants (Figure \ref{fig:uniaxial_damped_plant_change_sample_mass}) are equivalent for the three active damping techniques \item Which one to be used will be determined with the use of more accurate models and will depend on which is the easiest to implement in practice \end{itemize} -\end{important} \begin{table}[htbp] -\caption{\label{tab:comp_active_damping}Comparison of active damping strategies} \centering \scriptsize \begin{tabularx}{0.9\linewidth}{Xccc} @@ -526,7 +688,10 @@ Conclusions for Active Damping: \(x_f\) \textbf{Disturbance} & \(\nearrow\) at low frequency & \(\searrow\) near resonance & \(\nearrow\) at low frequency\\ \bottomrule \end{tabularx} +\caption{\label{tab:comp_active_damping}Comparison of active damping strategies} + \end{table} + \chapter{Position Feedback Controller} \label{sec:uniaxial_position_control} The High Authority Control - Low Authority Control (HAC-LAC) architecture is shown in Figure \ref{fig:uniaxial_hac_lac_architecture}. @@ -568,10 +733,27 @@ This is due to the interaction between the micro-station (modelled modes at 70Hz Such effect will be explained in Section \ref{sec:uniaxial_support_compliance}. \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses}Obtained damped plant using Integral Force Feedback for three sample's masses} +\begin{subfigure}{0.37\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_soft.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_mid.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_stiff.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\caption{\label{fig:uniaxial_hac_iff_damped_plants_masses_stiff}Obtained damped plant using Integral Force Feedback for three sample's masses} \end{figure} + \section{Position Feedback Controller} \label{ssec:uniaxial_position_control_design} @@ -616,7 +798,6 @@ K_{\text{stiff}}(s) &= g \cdot \end{subequations} \begin{table}[htbp] -\caption{\label{tab:uniaxial_feedback_controller_parameters}Parameters used for the position feedback controllers} \centering \begin{tabularx}{\linewidth}{lXXX} \toprule @@ -628,6 +809,8 @@ K_{\text{stiff}}(s) &= g \cdot \textbf{LPF} & \(\omega_l = 200\,Hz\) & \(\omega_l = 300\,Hz\) & \(\omega_l = 500\,Hz\)\\ \bottomrule \end{tabularx} +\caption{\label{tab:uniaxial_feedback_controller_parameters}Parameters used for the position feedback controllers} + \end{table} The loop gains for the three nano-hexapod are shown in Figure \ref{fig:uniaxial_loop_gain_hac}. @@ -635,11 +818,11 @@ We can see that: \begin{itemize} \item for the soft and moderately stiff nano-hexapod, the crossover frequency varies a lot with the sample mass. This is due to the fact that the crossover frequency corresponds to the mass line of the plant. -\item for the stiff nano-hexapod, the obtained crossover frequency is not at high as what was estimated necessary. +\item for the stiff nano-hexapod, the obtained crossover frequency is not as high as what was estimated necessary. The crossover frequency in that case is close to the stiffness line of the plant, which makes the robust design of the controller easier. \end{itemize} -Note that these controllers were quickly tuned by hand and not designed using any optimization methods. +Note that these controllers were not designed using any optimization methods. The goal is just to have a first estimation of the attainable performance. \begin{figure}[htbp] @@ -653,6 +836,7 @@ The goal is just to have a first estimation of the attainable performance. \includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_loop_gain_hac.png} \caption{\label{fig:uniaxial_loop_gain_hac}Loop Gain - High Authority Controller for all three nano-hexapod stiffnesses (soft one in blue, moderately stiff in red and very stiff in yellow) and all sample masses (corresponding to the three curves of each color)} \end{figure} + \section{Closed-Loop Noise Budgeting} \label{ssec:uniaxial_position_control_cl_noise_budget} @@ -661,9 +845,25 @@ These are compared with the open-loop and damped plants cases in Figure \ref{fig As expected, the sensitivity to disturbances is decreased in the controller bandwidth and slightly increase outside this bandwidth. \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac}Change of sensitivity to disturbances with LAC and with HAC-LAC. Nano-Hexapod with \(k_n = 1\,N/\mu m\) and sample mass of \(25\,kg\) are used.} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_fs.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_fs}Direct forces} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_ft.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_ft}$\mu\text{-station}$ disturbances} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.33\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_xf.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_xf}Floor motion} +\end{subfigure} +\caption{\label{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac}Change of sensitivity to disturbances with LAC and with HAC-LAC. Nano-Hexapod with \(k_n = 1\,N/\mu m\) and sample mass of \(25\,kg\) are used. \(f_s\) the direct forces applied on the sample (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_fs}), \(f_t\) disturbances from the micro-station stages (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_ft}) and \(x_f\) the floor motion (\subref{fig:uniaxial_sensitivity_dist_hac_lac_fs})} \end{figure} The cumulative amplitude spectrum of the motion \(d\) is computed for all nano-hexapod configurations, all sample masses and in the open-loop (OL), damped (IFF) and position controlled (HAC-IFF) cases. @@ -671,19 +871,35 @@ The results are shown in Figure \ref{fig:uniaxial_cas_hac_lac}. Obtained root mean square values of the distance \(d\) are better for the soft nano-hexapod (\(\approx 25\,nm\) to \(\approx 35\,nm\) depending on the sample's mass) than for the stiffer nano-hexapod (from \(\approx 30\,nm\) to \(\approx 70\,nm\)). \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_cas_hac_lac.png} +\begin{subfigure}{0.37\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_cas_hac_lac_soft.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_hac_lac_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_cas_hac_lac_mid.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_hac_lac_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_cas_hac_lac_stiff.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_cas_hac_lac_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +\end{subfigure} \caption{\label{fig:uniaxial_cas_hac_lac}Cumulative Amplitude Spectrum for all three nano-hexapod stiffnesses - Comparison of OL, IFF and HAC-LAC cases} \end{figure} + \section*{Conclusion} -\begin{important} Based on the open-loop noise budgeting made in Section \ref{sec:uniaxial_noise_budgeting}, the closed-loop bandwidth required to obtain acceptable vibration levels was estimated. In order to obtain such bandwidth, the HAC-LAC strategy was followed which consists of applying an active damping controller and then a high authority position feedback controller. -In this section, feedback controllers were design in such a way that the required closed-loop bandwidth was reached while being robust to a change of payload mass. +In this section, feedback controllers were designed in such a way that the required closed-loop bandwidth was reached while being robust to a change of payload mass. The attainable vibration control performances were estimated for the three nano-hexapod stiffnesses and were found to be close to the required values. A slight advantage can be given to the soft nano-hexapod as it requires less feedback bandwidth while giving better stability results. -\end{important} + \chapter{Effect of limited micro-station compliance} \label{sec:uniaxial_support_compliance} In this section, the impact of the compliance of the support (i.e. the micro-station) on the dynamics of the plant to control will be studied. @@ -723,10 +939,27 @@ The obtained transfer functions from \(F\) to \(L^\prime\) are shown in Figure \ When neglecting the support compliance, large feedback bandwidth can be achieve for all three Nano-Hexapod. \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected.png} +\begin{subfigure}{0.37\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected_soft.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_neglected_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected_mid.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_neglected_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_neglected_stiff.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_neglected_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +\end{subfigure} \caption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_neglected}Obtained transfer functions from \(F\) to \(L^{\prime}\) when neglecing support compliance} \end{figure} + \section{Effect of support compliance on \(L/F\)} Let's now add some support compliance and use the model shown in Figure \ref{fig:uniaxial_support_compliance_test_system}. @@ -741,23 +974,57 @@ In such case, the control of the piezoelectric stage using its integrated metrol If a soft nano-hexapod is used, the support dynamics appears in the dynamics between \(F\) and \(L\) (see Figure \ref{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics}, left) which will impact the control robustness and performance. \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics.png} +\begin{subfigure}{0.37\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_soft.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_mid.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_stiff.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +\end{subfigure} \caption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics}Effect of the support compliance on the transfer functions from \(F\) to \(L\)} \end{figure} + \section{Effect of support compliance on \(d/F\)} -When the motion to be controlled is the relative displacement \(d\) between the granite and the nano-hexapod's top platform, the effect of the support compliance on the plant dynamics is opposite than what was previously observed. +When the motion to be controlled is the relative displacement \(d\) between the granite and the nano-hexapod's top platform, the effect of the support compliance on the plant dynamics is opposite to what was previously observed. Indeed, using a ``soft'' nano-hexapod (i.e. with a suspension mode at lower frequency than the mode of the support) makes the dynamics less affected by the support dynamics (Figure \ref{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d}, left). On the contrary, if a ``stiff'' nano-hexapod is used, the support dynamics appears in the plant dynamics (Figure \ref{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d}, right). \begin{figure}[htbp] -\centering -\includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d.png} +\begin{subfigure}{0.37\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_soft.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_soft}$k_n = 0.01\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_mid.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_mid}$k_n = 1\,N/\mu m$} +\end{subfigure} +\begin{subfigure}{0.31\textwidth} +\begin{center} +\includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_stiff.png} +\end{center} +\subcaption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d_stiff}$k_n = 100\,N/\mu m$} +\end{subfigure} \caption{\label{fig:uniaxial_effect_support_compliance_dynamics_d}Effect of the support compliance on the transfer functions from \(F\) to \(d\)} \end{figure} + + \section*{Conclusion} -\begin{important} In order to study the impact of the support compliance on the plant dynamics, simple models shown in Figure \ref{fig:uniaxial_support_compliance_models} were used. Depending on the quantity to be controlled (\(L\) or \(d\) in Figure \ref{fig:uniaxial_support_compliance_test_system}) and on the relative location of \(\omega_\nu\) (suspension mode of the nano-hexapod) and \(\omega_\mu\) (modes of the support), the interaction between the support and the nano-hexapod dynamics can change drastically (observations made are summarized in Table \ref{tab:uniaxial_effect_compliance}). @@ -765,10 +1032,8 @@ Depending on the quantity to be controlled (\(L\) or \(d\) in Figure \ref{fig:un For the NASS, having the suspension mode of the nano-hexapod at lower frequencies than the suspension modes of the micro-station would make the plant less dependent on the micro-station dynamics, and therefore easier to control. Note that observations made in this section are also affected by the ratio between the support mass \(m^{\prime}\) and the nano-hexapod mass \(m\) (the effect is more pronounced when the ratio \(m/m^{\prime}\) increases). -\end{important} \begin{table}[htbp] -\caption{\label{tab:uniaxial_effect_compliance}Impact of the support dynamics on the plant dynamics} \centering \begin{tabularx}{0.4\linewidth}{Xccc} \toprule @@ -778,10 +1043,12 @@ Note that observations made in this section are also affected by the ratio betwe \(L/F\): & large & large & small\\ \bottomrule \end{tabularx} +\caption{\label{tab:uniaxial_effect_compliance}Impact of the support dynamics on the plant dynamics} + \end{table} + \chapter{Effect of Payload Dynamics} \label{sec:uniaxial_payload_dynamics} - Up to this section, the sample was modelled as a mass rigidly fixed to the nano-hexapod (as shown in Figure \ref{fig:uniaxial_paylaod_dynamics_rigid_schematic}). However, such sample may present internal dynamics and its fixation to the nano-hexapod may have limited stiffness. @@ -802,6 +1069,7 @@ To study the effect of the sample dynamics, models shown in Figure \ref{fig:unia \end{subfigure} \caption{\label{fig:uniaxial_payload_dynamics_models}Models used to study the effect of payload dynamics} \end{figure} + \section{Impact on the plant dynamics} \label{ssec:uniaxial_payload_dynamics_effect_dynamics} @@ -836,7 +1104,6 @@ Even tough the added sample's flexibility still changes the high frequency mass \end{figure} -\begin{important} The impact of the sample dynamics on the plant varies with the sample mass and the relative resonance frequency of the sample \(\omega_s\) and of the nano-hexapod \(\omega_n\). The larger the sample mass, the larger the effect (i.e. change of high frequency gain, appearance of additional resonances and anti-resonances). A zero/pole pattern is observed if \(\omega_s > \omega_n\) and a pole/zero pattern if \(\omega_s > \omega_n\). @@ -845,7 +1112,7 @@ Such additional dynamics can induce stability issues depending on their position The general conclusion is that the stiffer the nano-hexapod, the less it is impacted by the payload's dynamics, which would make the feedback controller more robust to a change of payload. This is why high-bandwidth soft positioning stages are usually restricted to constant and calibrated payloads (CD-player, lithography machines, isolation system for gravitational wave detectors, \ldots{}), while stiff positioning systems can more easily accept various payloads. -\end{important} + \section{Impact on the positioning stability} \label{ssec:uniaxial_payload_dynamics_effect_stability} @@ -858,7 +1125,7 @@ This is the same model that was used in Section \ref{sec:uniaxial_position_contr \begin{figure}[htbp] \centering \includegraphics[scale=1]{figs/uniaxial_sample_flexibility_control.png} -\caption{\label{fig:uniaxial_sample_flexibility_control}Uniaxial model considering a flexibility between the nano-hexapod top platform and the sample. In that case the measured and controlled distance \(d\) is different from the distance \(y\) that is wish to be controlled} +\caption{\label{fig:uniaxial_sample_flexibility_control}Uniaxial model considering a flexibility between the nano-hexapod top platform and the sample. In that case the measured and controlled distance \(d\) is different from the distance \(y\) that is the real performance index} \end{figure} After the system dynamics extracted from the model, IFF is applied using the same gains as the ones used in Section \ref{sec:uniaxial_active_damping}. @@ -867,7 +1134,7 @@ Thanks to the collocation between the nano-hexapod and the force sensor used for The High Authority Controllers used in Section \ref{sec:uniaxial_position_control} are then implemented on the damped plants. The obtained closed-loop systems are stable, indicating good robustness. -Finally, closed-loop noise budgeting is computed for the obtained the closed-loop system and the cumulative amplitude spectrum of \(d\) and \(y\) are shown in Figure \ref{fig:uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_y}. +Finally, closed-loop noise budgeting was computed for the obtained the closed-loop system and the cumulative amplitude spectrum of \(d\) and \(y\) are shown in Figure \ref{fig:uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_y}. The cumulative amplitude spectrum of the measured distance \(d\) (Figure \ref{fig:uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_d}) shows that the added flexibility at the sample location have very little effect on the control performance. However, the cumulative amplitude spectrum of the distance \(y\) (Figure \ref{fig:uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_y}) shows that the stability of \(y\) is degraded when the sample flexibility is considered and is degraded as \(\omega_s\) is lowered. @@ -880,6 +1147,8 @@ What happens is that above \(\omega_s\), even though the motion \(d\) can be con \end{center} \subcaption{\label{fig:uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_d}Cumulative Amplitude Spectrum of $d$} \end{subfigure} + +\bigskip \begin{subfigure}{0.95\textwidth} \begin{center} \includegraphics[scale=1,scale=1]{figs/uniaxial_sample_flexibility_noise_budget_y.png} @@ -888,8 +1157,8 @@ What happens is that above \(\omega_s\), even though the motion \(d\) can be con \end{subfigure} \caption{\label{fig:uniaxial_sample_flexibility_noise_budget}Cumulative Amplitude Spectrum of the distances \(d\) and \(y\). The effect of the sample's flexibility does not affects much \(d\) but is detrimental to the stability of \(y\). A sample mass \(m_s = 1\,\text{kg}\) is used for the simulations.} \end{figure} + \section*{Conclusion} -\begin{important} Payload dynamics is usually a major concern when designing a positioning system. For the NASS, the sample may present internal dynamics and limited fixation stiffness to the nano-hexapod platform. On top of that, its mass can vary from 1kg up to 50kg which is a first challenge. @@ -900,7 +1169,7 @@ However, it was shown that this issue is less critical if a stiff nano-hexapod i Having some flexibility between the measurement point and the point of interest (i.e. the sample point to be position on the x-ray) also degrades the position stability as shown in Section \ref{ssec:uniaxial_payload_dynamics_effect_stability}. It will be therefore important to take special care when designing sampling environments, especially is a soft nano-hexapod is used. -\end{important} + \chapter{Conclusion} \label{sec:uniaxial_conclusion} @@ -914,5 +1183,6 @@ These controllers were shown to be robust to the change of sample's masses, and It has been found that having a soft nano-hexapod makes the plant dynamics easier to control (because decoupled from the micro-station dynamics, see Section \ref{sec:uniaxial_support_compliance}) and requires less position feedback bandwidth to fulfill the requirements. The moderately stiff nano-hexapod (\(k_n = 1\,N/\mu m\)) is requiring a bit more position feedback bandwidth, but it still seems to give acceptable results. However, the stiff nano-hexapod is the most complex to control and gives the worst positioning performance. + \printbibliography[heading=bibintoc,title={Bibliography}] \end{document}